作者gamesame7711 (框框)
看板ChemEng
標題[問題] 關於SEM如何拍到鋁片清楚的截面圖
時間Wed Nov 30 19:55:36 2011
各位資深前輩好
目前老闆派給我的工作是有關於陽極氧化鋁的實驗
我們是使用商業用的鋁片進行電化學加工
目前為止實驗大致上順利
但重點來了
由於鋁片的延展性很高 在切割試片時會因為鋁片的機械性質之形變 將截面結構破壞掉
(我們使用過剪刀、裁紙機、斜口鉗，也使用液態氮低溫處理後再進行切割)
但都無法完美的拍出陽極氧化鋁模板的SEM截面結構(看到模板的成功率很低)
PAPER有諸多商業用鋁片進行陽極氧化鋁的研究 截面都拍得很棒
但並沒有對於在拍攝SEM製作試片時 做過多的描述
我們實驗瓶頸就卡在這...因此想詢問
有沒有能在 不會因為金屬延展性的情況下
拍到陽極氧化鋁模板截面的SEM方法?
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 203.68.164.70
1F：推 greg60711:focus ion beam ?140.112.172.119 11/30 20:12
我們沒有...= =
2F：推 DUGONG:陽極氧化鋁模板通常都很脆吧?沒吃穿嗎? 119.14.200.237 12/01 01:13
並沒有吃穿 目前只做幾個小時 想觀察改變一些參數後會得到什麼結構
3F：推 YJM1106:雷射 114.32.140.100 12/01 01:36
這個會列入考慮
4F：推 silicon123:鑲埋?118.168.115.216 12/01 02:12
不是@@~
感謝以上幾位資深前輩給的意見!!!
主要是切截面切不成功 不曉得除了雷射 水刀 還有沒有其它方法?
5F：推 DUGONG:所以鋁片是故意要留下來的嗎?把鋁移除呢?140.116.234.243 12/01 17:17
我們的鋁很厚 模板很薄約1um(製程時間短)
※ 編輯: gamesame7711 來自: 203.68.164.32 (12/01 18:07)
6F：推 IZO:Al會很厚嗎?可以彎折的話,彎哲後去觀察凸面 140.116.159.64 12/02 17:52
7F：→ IZO:我以前是用此方法看AAO cross section 140.116.159.64 12/02 17:54
8F：→ IZO:"髮夾彎"的凸面 140.116.159.64 12/02 17:55
9F：→ aerosck:鑲埋+慢切機+研磨 1.169.159.72 12/04 11:54
10F：→ gamesame7711:我們這次試試看 謝謝各位前輩 111.255.68.149 12/05 20:58