作者oscar0513 (濃)
看板ChemEng
標題[問題] 關於磷擴散之矽蝕刻的疑問
時間Fri Aug 19 23:30:57 2011
如題~有強者知道為何在磷擴散的wafer上，使用高濃度硝酸混微量HF，會產生顏色的
原因嗎? 不知道該如何解釋才好QQ
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 218.160.129.112
1F：→ john18575:你去測EDS,先看表面元素成份,推測不同金屬離子產生顏色 08/19 23:35
2F：→ mcgradychung:微量是多微? 硝酸會氧化矽 尤其n摻雜的氧化更快 08/20 01:05
3F：→ mcgradychung:若蝕刻小於氧化 應該有氧化層 但靠硝酸氧化到有顏色 08/20 01:08
4F：→ mcgradychung:好像又有難度... 08/20 01:08
5F：→ oscar0513:謝謝!! 08/21 09:58
6F：→ oscar0513:我猜可能產生一些microstruture 08/21 10:01
7F：推 PDADDY:樓上正解 08/22 10:17
8F：→ mcgradychung:XD 自問字答嗎 08/22 16:20
9F：→ mcgradychung:若是有微結構 我很好奇怎麼造成的... 08/22 16:21
10F：推 gamesame7711:我沒做過磷擴散再蝕刻 08/24 02:06
11F：→ gamesame7711:不過在未擴散前 去蝕刻的話 會吃出一些C的樣子 08/24 02:07
12F：→ gamesame7711:爾後我在拿去做磷擴散 也產生彩色樣 08/24 02:08
13F：→ theknight:跟磷應該也有關系吧 09/09 00:36