作者youmissi (youmissi)
看板ChemEng
標題[問題] HF
時間Thu Jul 7 09:27:20 2011
請問一下
氫氟酸溶液會吃金屬鎳(膜)或者金屬鎢嗎?
一般而言
氫氟酸溶液大多當作酸洗液
是用來去除什麼物質呢? 油性物質嗎?
謝謝回答
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◆ From: 113.229.12.134
1F：推 john18575:剛好我再做這一塊,一般純鎳與HF的反應溫度在400C以上 07/07 09:47
2F：→ john18575:不過因為鎳氧化速率很快,放在空氣中很快形成氧化膜 07/07 09:48
3F：→ john18575:我查過很多資料,幾乎找不到HF+NiO 07/07 09:58
4F：→ john18575:HF常用來洗Si晶圓,為的是去除表面的氧化物質 07/07 09:59
5F：→ john18575:鎳膜在常溫下與HF幾乎不反應,80C以下是安全範圍 07/07 11:34
6F：推 gamesame7711:etch SiO2 07/07 17:48