作者silicon123 (宏爺)
看板ChemEng
標題[問題] 想請問濺鍍相關問題
時間Fri May 6 23:47:38 2011
想請問各位板大
是否有聽過鐵氟龍靶材
學名是四氟聚乙烯
簡稱PTFE
請問這種靶材要去哪裡買
直接用電漿打出來的就是 TPFE film 嗎
還有聽說高分子材料若進腔體會汙染然後無法清除
就是連刷都刷不掉嗎
麻煩有經驗的板大分享
謝謝
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◆ From: 118.166.195.129
1F：推 angor:怕汙染通常會先在腔體內貼鋁箔吧? 第一次聽過鐵氟龍靶,酷!! 05/07 00:17
2F：推 shy723:我也第一次聽... 05/07 01:00
3F：推 lu5566:我只知道金屬鈀材.... 05/07 01:26
4F：推 leox243:鐵氟龍竟然可以當靶...鍍出來不會掉膜嗎 05/07 17:13
5F：推 gamesame7711:我只聽過復合陶瓷 跟金屬 真的有高分子的靶!? 05/07 21:11
6F：推 phohq:的確有喔 之前看過相關paper 05/08 01:17
7F：→ silicon123:我是看過有人有用過~所以才想嘗試~不過不知道到底是不 05/08 16:36
8F：→ silicon123:是用電漿就可以打出film還是還要再添加氟類氣體~ 05/08 16:37
9F：推 IZO:用電漿就可以打出film,但功率不能太高 否則Teflon會軟化 05/13 14:44
10F：→ IZO:可以鍍成疏水膜,但附著力不好 05/13 14:47
11F：→ IZO:絕緣靶,用RF power吧 05/13 14:49
12F：→ silicon123:附著度不好嗎? 05/13 21:46
13F：→ silicon123:I大有做過類似的實驗嗎~如果有可以請教I大這方面相關 05/13 22:02
14F：→ silicon123:的知識以及依些注意事項嗎^^ 05/13 22:03
15F：推 ppppanda: 怕污染 使用鋁箔紙包覆腔體 用丙酮清 140.127.25.204 08/25 11:19