作者Dennynyo (尿尿)
看板ChemEng
標題[問題] 關於截面觀察厚度的問題
時間Thu Apr 7 12:57:14 2011
如題所示
小弟我在wafer與Fe基板上濺鍍3層薄膜
雖然利用wafer可以輕鬆的觀察截面分層厚度
不過考慮到不同基板對厚度多少都會有影響
而且結晶性可能會不相同
故以在wafer上觀察到的厚度做定論可能不嚴謹
我也嘗試過將試片作冷鑲與熱鑲然後研磨拋光
不過看出來的截面真是慘不忍睹
有聽人家說要用"無電鍍鎳"在鍍層上面形成保護層再研磨
可是問了很多廠商都表示查不到這東西(?)
也想試用Auger做縱深分析
但是因為我的基板會被磁鐵吸引怕不能進腔體
直接泡液氮然後敲碎的方法也試過
不過看不出來效果...
不知各位先進對於截面的厚度觀察有何心得?
以及解決不同基板問題的有效方法?
謝謝各位 ^^
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◆ From: 120.105.129.33
1F：→ Dennynyo:分層大約為200+200+440 nm 04/07 12:58
2F：推 yangono:AFM 04/07 14:35