作者hedonist891 (hedonist)
看板ChemEng
標題[材料] 請益有關KOH的蝕刻技巧
時間Thu Feb 3 22:28:06 2011
各位先進好@@
小弟在專題上遇到一個困難，想跟版上的先進討教一下
就是我想要作出像這張圖的渠道
http://ppt.cc/leVB
就是圖中綠色被KOH吃掉的等向性蝕刻(我是要吃SiO2)
我自己試過用膠帶貼住不要被蝕刻的區域丟到KOH的溶液中
結果膠帶會跟SiO2分離，最後是整塊SiO2浸在溶液中
我是想問阿，paper都寫利用KOH吃出這種渠道狀的結構
但我想知道除了利用KOH當蝕刻液外，還需要搭配甚麼方法才能吃出這樣的結構？
我有猜是利用光阻來擋住不要被蝕刻的部分，但是這樣是不是就要作一個光罩了@@?
請版上先進解答小弟的疑惑
並祝新年快樂！
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◆ From: 114.37.172.219
1F：推 bla:試試看用silicone感壓膠做的膠帶 02/04 11:19
2F：→ bla:一般壓克力感壓膠黏不住以矽為主成分的被貼物 02/04 11:20
請問有推薦的牌子嗎@@?
因為我應該會把SiO2放到85度的KOH溶液中，然後我剛才查了wiki的介紹
他說一般PSA tape是在室溫下使用的，所以我怕他無法耐高溫(且耐鹼)
所以想問有沒有推薦的牌子，我去查詢一下這樣
謝謝你的回答~~
※ 編輯: hedonist891 來自: 140.114.253.80 (02/04 15:51)
3F：推 wilson64:3M有一種綠色的膠帶，可耐酸鹼，不過不便宜~ 02/08 13:09
4F：推 quaintness:圖中綠色是Silicon，這是"非等向性蝕刻" 要蝕刻除了KOH 02/08 22:32
5F：→ quaintness:還有TMAH or EDP, 抗酸鹼膠帶及光阻可以不用試了, 結果 02/08 22:33
6F：→ quaintness:會是膠帶泡在KOH也不會爛掉,但蝕刻失敗，光阻泡下去也 02/08 22:34
7F：→ quaintness:是污染蝕刻液而已沒有用.. 02/08 22:35
8F：→ quaintness:土黃色是SiO2或是Nitride, 蝕刻穿通常就是Nitride 02/08 22:37
9F：→ quaintness:專題生下一道光罩應該不過份,至少是比較正常的作法○rz 02/08 22:37
10F：→ quaintness:最後 要吃SiO2?! 確定有晶格嗎 02/08 22:38
11F：推 Numbbreak:那叫 酸鹼膠帶 02/08 23:22
12F：推 quaintness:那叫 耐酸鹼膠帶 或 抗酸鹼膠帶 吧...報價單還沒看到過 02/10 01:57
13F：→ quaintness: 酸鹼膠帶 ○rz ... 02/10 01:57
14F：→ leox243:其實塑膠光罩很便宜...... 02/16 10:28