作者nashisaman (陽光柚子)
看板ChemEng
標題[材料] 請問關於Sputtering的問題!!~~
時間Sun Dec 19 14:56:59 2010
如果我現在要Nb-doped TiO2
請問一般來說
鍍膜時間要怎麼去推算出來呢?才不會太過頭~~
我只知道要考慮濺鍍率及一些反應性氣體的內容等等
還有其他方式可以推得嗎?
想知道比較明確的算法~~
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 134.208.38.50
1F：→ log100:實際鍍才知道吧 ~~ 12/24 02:10
2F：推 milord:多鍍幾次~ 量量膜厚~ 看學長有沒有打過~ 沒打過自己try 12/26 16:36
3F：→ milord:算再多次也是騙人的... 實驗跟理論是... 有點差距的QQ 12/26 16:37