作者leox243 (LEOX)
看板ChemEng
標題[問題] 請問那些金屬燒結後會聚集成球狀或是島狀
時間Mon Sep 13 12:52:34 2010
最近要做微遮罩，本來要用PS球來做，不過好像不太適合
所以轉而用金屬來做
基板是SiOx或是Si，想在上面鍍上金屬後加溫，讓金屬聚集成島狀或是球狀來當遮罩
之前試過金，可以靠溫度和厚度的不同達成目的，
也試過鋁，但是鋁就沒辦法，SEM下面看不出來有島狀或是球狀
用金會有兩個問題，第一很容易和Si共晶，第二很貴 囧rz
想問問還有哪些金屬在加溫後(1000度C以下)可以在我的基材上形成島狀或是球狀的結構
想形成的尺度大概在50nm~1000nm之間(之前我做金可以在50nm到300nm左右)
m(_._)m 先在這邊感謝各位版友看完我的問題
--
只有酸民才是永遠的反對黨
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.116.201.59
1F：→ xcent:錫 也許可以...但不確定形成尺度... 09/13 17:32
2F：→ leox243:錫...倒是沒想過 改天來試試 THX 09/14 16:21