作者coyoyo (yoyo)
看板ChemEng
標題[問題] powder壓片後進入SEM機台
時間Wed Jul 28 01:21:23 2010
請問一下
如果powder壓片後 (未經燒結過程)
進入SEM機台 以10kV的加速電壓去打樣品
這樣的樣品有可能會被再打成粉嗎？
現在怕的是 變成粉後 真空度變差 直接傷到Gun
我的樣品是 MnO2 和 Ga2O3 的壓片
請有這方面經驗的前輩提供一下經驗囉
第一次做powder的壓片~
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.117.179.26
※ 編輯: coyoyo 來自: 140.117.179.26 (07/28 01:23)
1F：推 AQUAzero:粉末放一點在碳膠上 壓一下 用壓縮空氣噴一噴 就差不多了 07/28 09:12
2F：→ AQUAzero:有看過粉末壓片 抽真空時直接從攝影機看到粉飛散出來 07/28 09:15
3F：→ AQUAzero:過不久 幫浦就故障了 其實還輪不到燈絲就是了 07/28 09:16
4F：→ AQUAzero:不導電的粉末在電子束的charging下 會振動 嚴重的會亂跳 07/28 09:18
5F：→ AQUAzero:所以還是該燒結就燒結 不燒結 就放在碳膠上吧 07/28 09:18
6F：→ likerain0229:如果你不怕腔體出事就上吧.. 08/01 01:40