作者springXrain (QQ)
看板ChemEng
標題[製程] 高分子進行旋轉塗佈後膜厚的量測方法?
時間Fri Jul 9 15:34:54 2010
我之前測膜厚的方法
是在要塗佈的元件一側貼上3M的貼紙 然後進行旋轉塗佈
接著把貼紙撕開 用測膜機(α-step)量測膜厚
可是量的時候發現原貼紙與膜的交接處會發生堆積現象
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堆積的地方
導致實驗數據不准
請問有更好的測量膜厚方法嗎?
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.129.9.33
1F：推 afunism:算厚度時不要考慮高起來那部份就好啦 07/09 17:07
2F：推 xcent:α-step可以調整掃描的長度，調長一點，高起來的不要算就好 07/09 17:19
3F：→ springXrain:了解~~謝謝兩位^^ 07/09 18:35
4F：推 Dennynyo:貼紙的黏膠不會附在基板上嗎 @@? 07/09 18:41
5F：→ springXrain:會~~我學長是叫我用丙酮清洗 07/10 13:49
6F：→ chenyppl:如果薄膜厚度不是非常厚 可以試試橢圓儀 07/11 01:36
7F：→ leox243:有些N&K會建有光組參數，可以試試 07/14 11:44
8F：→ leox243:橢圓儀的話之前才被NDL的工程師說膜太厚(100nm)很難fit XD 07/14 11:45
9F：→ chenyppl:真的嗎 樓上 可以拿sample給我 我幫你試試 07/15 00:13
10F：推 leox243:真的嗎XD 我下下禮拜還要送一批去NDL量 到時順便請你試試 07/17 14:45
11F：→ sin30:範圍量大一點，一般堆積應該會有小山峰(如左--^--)， 07/17 21:07
12F：→ sin30:就量小山峰的兩側~~~ 07/17 21:08
13F：→ sin30:有afm也可以掃啦~~不過是大材小用 07/17 21:10