作者narutoo (RORO一定要幫我)
看板ChemEng
標題[問題]薄膜熱應力
時間Sun Jun 20 06:37:15 2010
基板與薄膜熱膨脹係數差異在冷卻到室溫時會造成熱應力
此熱應力大小與薄膜厚度是無關的
但膜厚越厚也會造成bending moment越大
小弟的問題是
熱應力在不同膜厚的狀況下
會造成晶格常數有些微差異而能夠在XRD中觀察出來嗎
或者小弟觀念上有錯誤
希望板上各位先進不吝指教 能幫小弟解惑
謝謝~~~
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◆ From: 134.208.4.29
※ 編輯: narutoo 來自: 134.208.4.29 (06/20 06:38)
※ 編輯: narutoo 來自: 134.208.4.29 (06/20 06:39)
※ 編輯: narutoo 來自: 134.208.4.29 (06/20 06:40)
1F：→ kriz:可以阿，不過你的光源要夠強夠乾淨，去同步借一條線用吧。 06/21 12:25
2F：推 Dennynyo:我記得有應力的話XRD的峰值會稍微偏移 (某篇PAPER) 06/21 22:47
3F：→ narutoo:所以熱應力在不同"膜厚"的確會有不同影響嗎 06/21 23:16
4F：→ kriz:抱歉，"些微"差異的話，可能要用FIB切試片看TEM。 06/23 00:02
5F：→ yen21:要看是不是均勻變形 均勻的PEAK會偏移 不是的話PEAK 會變寬 06/23 11:36