作者gh20502 (可不可以不要上班)
看板ChemEng
標題[問題] 鍍膜用的靶材
時間Fri May 21 15:24:48 2010
近期在研讀濺鍍用靶財的相關事項...有幾個部份很不了解想來問問各位版大
1.一般來說鍍上單層薄膜的話主要用途是在防腐蝕、耐高溫、增加磨耗……等等
多層膜一般用在光學材料，但如果要鍍多層的話
靶材的使用是要用兩塊不同性質的靶材去打，還是一塊靶材就可以達到所有需求...
(像是一塊靶材可是有多層去打這樣)
2.通常會依照自己需要鍍的薄膜需求來選擇靶材，可是要怎麼知道這個靶材打出來的
薄膜比其他的靶材打出來的好？有什麼訊息可以去查詢嗎？
麻煩各位大大解答了!!
--
███
███
███ ξ 總在每一次思念繚繞後才這麼說著
◢◤◢ ○_
.
◤◢◤< ╯
◢◤◢﹨> 『是該戒掉了...』
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 114.33.51.167
1F：推 GSG9:1.多層膜應該是用多塊靶材 單一靶材要怎麼做到多層效果?? 05/21 22:33
2F：→ GSG9:就算單一靶材有多層 光製程控制就是讓人瘋了.... 05/21 22:34
3F：→ GSG9:2.最簡單且直接就是兩個鍍出來的膜直接去分析 05/21 22:35