作者ycc01 (ycc01)
看板ChemEng
標題[問題] 掃描式電子顯微鏡
時間Wed May 12 21:08:36 2010
請問每次操作SEM為什麼都要再添加液態氮?
我知道SEM內部的真空度要求非常低
如果沒有加液態氮是否會發生真空度下不去的現象?(或是說要抽很久才會下去)
為什會這樣?
液態氮跟真空度有什麼關西
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◆ From: 118.171.131.19
1F：推 YJM1106:低溫氣體密度高 抽起來比較有效率 05/12 21:16
2F：→ YJM1106:不過這邊不是這個原因，是要把偵測器降溫用的～ 05/12 21:20
3F：→ nick155555:是因為有EDX才加液態氮的~而不是因為SEM機台需加液態氮 05/12 21:24
4F：推 kriz:EDX detector需要冷卻...主要是FEG type才會要求低真空度 05/13 12:25
5F：→ kriz:hot-fliament就隨便一顆JEOL機械pump抽一抽就搞定了。 05/13 12:26
6F：→ kriz:TEM就真的需要液態氮冷卻試片週邊汙染物的cold trap 05/13 12:27
7F：→ bbandbb:為了降低電子束激發所產生的熱量，達恆溫效果 05/13 15:09
8F：→ idkttn:SEM的液氮冷卻線路是在最接近樣品的鏡頭週圍做冷卻 05/13 19:19
9F：→ idkttn:主要是避免電子束能量造成樣品有汽化現象後吸入主腔體內部 05/13 19:20
10F：→ idkttn:個人覺得低溫也有助於提昇掃描後的清析度 05/13 19:21
11F：→ kriz:FE-SEM我用過的似乎沒在物鏡附近做冷卻線路...你用的型號是? 05/17 00:47