作者DOSHINE (大隻佬)
看板ChemEng
標題[問題] 請問有關coating AFM探針
時間Wed Mar 10 23:18:51 2010
To support the high currents required for STT switching, commercial silicon
probes with a nominal spring constant of 2.8 N/m were coated with a 200 nm Pt
film by sputtering, which increases the tip radius to nominally 100 nm.
想請問有人懂這段英文所說的探針濺鍍是如何去做的嗎?
是指用濺鍍機直接濺鍍在探針上嗎?
有人真的這樣做過嗎?
還是有其他方法? 麻煩提供論文之類的參考一下
還請不吝賜教 謝謝!!
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◆ From: 140.125.169.45
1F：推 cougarchen:磁控濺鍍作的 03/15 23:26
2F：→ cougarchen:很多方法都商業化了，方法很少 03/15 23:27
3F：→ DOSHINE:感謝樓上的回答!! 03/16 13:24