作者coyoyo (yoyo)
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標題[請益] 石英振盪器 量膜厚
時間Mon Dec 7 19:36:14 2009
最近使用蒸鍍機台 裡面有裝了石英振盪片
用來量測膜厚的
我想了解石英振盪片測膜厚的原理
因為想做一份這方面的報告
不過查到的資料 都很簡短的只說到振盪頻率和鍍上去的厚度有關
或是說振盪頻率會符合某某公式(給了一個公式)
我想知道的是
這些公式怎麼來的
不知我該如何得到這方面的訊息
網路上也找了 圖書館也去找了
真的沒辦法了
來這裡請求各位大大囉
是否在某本書上有看過
或哪個網頁有介紹
http://www.ic160.com/bbs/info/20071122220849.htm
這是我找到算比較詳細的
不過 最初的公式怎麼來 我真的想不出來@@
絕對不是要把功課丟給大家
只是希望能在這獲得一點點這方面的資訊
如果大大們 有這方面的一點點訊息
希望能提供給我知道囉
萬分感謝^^
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※ 編輯: coyoyo 來自: 140.117.32.119 (12/07 19:37)
1F：推 wanttu:查壓電公式 印象中是這樣 12/07 21:15
2F：→ coyoyo:裡面提到 AT切割的石英壓力效應固有頻率為1/22Qncfdp=... 12/07 23:16
3F：→ coyoyo:不知該如何得到這公式~~@@ 12/07 23:16
4F：→ wucy:記得可以用Surgery，可以由頻率估算質量，但不知道如何估算 12/09 00:28
5F：→ wucy:的uniformity 12/09 00:29