作者chishen1214 (chisheng)
看板NEMS
標題[問題] MICROPOSIT REMOVER 1165 、丙酮去光阻
時間Thu Sep 19 18:03:28 2019
曝光用的光阻是AZ5214E 負型光阻，要做lift off用的
有人有使用過MICROPOSIT REMOVER 1165 來去光阻嗎？
這個在哪邊可以買到呢？有實驗室是用這個嗎？跟一般用丙酮去光阻有何差異呢？
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1F：推 jerrychu1211: AZ5214E我用過, 可以做正光阻也可以做附光阻用 05/25 02:18
2F：→ jerrychu1211: 不管是曝成正光阻或負光阻,都可拿來蝕刻跟lift-off 05/25 02:19
3F：→ jerrychu1211: 但一般是只用ACE去PR,請教您用別的溶液目的為何? 05/25 02:21