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标题[新闻] ASML在台研发2奈米光学设备 台经部：补助
时间Sun Apr 9 21:27:51 2023
https://www.epochtimes.com/b5/23/4/9/n13968932.htm
ASML在台研发2奈米光学设备 台经部：补助最快5月拍板
【大纪元2023年04月09日讯】（大纪元记者侯骏霖台湾台北报导）半导体设备大厂艾司摩
尔（ASML）持续扩大对台投资，近期针对2奈米晶圆光学量测设备的研发制造，向经济部
申请A+企业研发补助案。对此，台经济部表示，审查重点包含如何协助供应链技术升级及
国产自制率等两面向，最快会在5月定案。
新北市长侯友宜曾透露，艾司摩尔增加在台投资，第一期投资金额高达新台币300亿元，
预计落脚林口、约2千名员工进驻；针对2奈米晶圆光学量测设备，艾司摩尔去年也向经济
部申请研发补助计画，一旦审查通过，预计政府会有低於五成的补助。
经济部指出，台厂供应链目前已具备深紫外光（DUV）设备中的光罩传输模组制造能力，
这次艾司摩尔计画案包含晶圆传输模组，盼能藉此导入本土供应链。
经济部表示，受惠艾司摩尔DUV光罩传输模组搬来台湾制造，成为全球唯一制造基地，带
动台厂帆宣、公准及神咏等供应链厂商成长。因此，这次审查聚焦重点，将落在如何提升
本土技术与国产自制率。
经济部「A+企业创新研发淬链计画」补助企业投入创新研发、前瞻产业技术开发，每年预
算约新台币20亿元，计画吸引国际大厂来台研发生产；由於艾司摩尔申请案将进入第二阶
段审查，经济部预估在5月召开决审会议拍板，届时补助金额将明朗化。◇
责任编辑：玉珍
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1F：推 l11111111 : 所以有什麽好处？ 04/09 21:29
2F：推 samia28 : 侯友宜招商真的很有一套 04/09 21:36
3F：→ ISCREDIBLE : 台湾给钱让外国公司抢便宜人才？ 04/09 22:05
4F：→ kenccc : 招商有一套的是GG 04/09 22:19
5F：推 rry1234 : 企业来台招揽人才还有钱拿.. 04/09 23:26
6F：→ Roslin : ASML有做光学量测?? 04/10 00:33
7F：→ zzz499 : 传输模组不等於光学量…. 04/10 01:00
8F：推 yukiinsummer: 笑死 04/10 01:17
9F：→ great660i101: Yield star吧 忘记是不是这样拼，买曝光机送的，不 04/10 01:48
10F：→ great660i101: 过林口原本就有YS的DE的样子 04/10 01:48
11F：推 andylu1207 : 翻译ASML： 台GG有轮班精英们帮我们做study 好舒服 04/10 01:54
12F：推 maplefff : 好处在林口多了2000个职位... 04/10 02:54
13F：→ maplefff : YieldStar以前是买DUV会送，现在是要另购了 04/10 02:55
14F：→ maplefff : 某些指标已经超过KLA的机台 04/10 02:55
15F：→ angelpeace : 汉微科打不过都被并掉了，ASML没有量测？？？？ 04/10 06:13
16F：推 louis1704 : 招商有一套的是GG+1 04/10 06:30
17F：推 paramagnetic: ASML有另外一套在做E beam量测的机台啊…… 04/10 07:50
18F：推 showermi : 从推文就知道有多少短视人 04/10 08:46
19F：→ bnn : 他在台湾投资有就业数字有员工在地消费有啥问题 04/10 09:52
20F：推 summer08818 : 好处是我前年买的房子 现在建商主打ASML要来了XD 04/10 10:26
21F：→ summer08818 : 不只是增加就业消费 房价还会喷喷 04/10 10:27
22F：推 alau : 招商是靠GG 04/10 10:44
23F：→ botnet : 为什麽要补助啦 04/10 12:28
24F：推 Roderickey : 政府拿员工的钱去补助外资? 04/10 13:06
25F：推 mnb11338 : 补助个屁啊 04/10 14:14
26F：推 justin200428: 中国快研发完成了 04/10 16:08
27F：推 qwe172839 : E-beam算光学量测吗…? 04/10 19:22
28F：→ qwe172839 : 好啦转成灰阶勉强算 04/10 19:23
29F：→ Roslin : e-beam叫检测不叫量测 先搞清楚好吗 04/10 20:48
30F：→ Roslin : 连measurement和inspection都搞不清楚 别来闹了 04/10 20:48
31F：→ FuYen : e-beam可以inspection当然也可以metrology.... 04/10 21:32
33F：→ ericfrance2 : 齁力斯提克 04/10 23:04
34F：→ Roslin : 哪一间fab用e-beam机台量inline CD 说来长个见识 04/10 23:26
35F：→ FuYen : 我还想问哪家没在用CD-SEM勒.. 04/11 00:54
36F：推 qwe172839 : 一个说inspection 一个说SEM 都是电子束没毛病 04/11 01:16
37F：推 juangpeiyi : 所以KLA的ebi被ASML狂电之外 连光学也要被ASML追上 04/11 01:23
38F：→ juangpeiyi : 了？ 04/11 01:23
39F：→ juangpeiyi : 线上一堆CDSEM. FA里面TEM SEM, GG无尘室内还放了TE 04/11 01:25
40F：→ juangpeiyi : M FIB咧.... 04/11 01:25
41F：推 vans24 : 2楼笑话不错笑 04/11 11:06
42F：→ Roslin : HMI机台没人会说他是CDSEM...... 04/11 20:25
43F：推 Roslin : e-beam也不叫光学…光学量测是OCD 04/11 20:36
44F：→ MUMUKON : 龟山不是侯管的吧？ 04/11 20:58
45F：→ kougousei : ASML以後要扩厂那块在新北啊 04/11 21:18
46F：→ kougousei : 不过想也知道这整件事不可能是他一个人搞定的 04/11 21:18
47F：推 wqw0o0o0o : 需要内推或问问题请私～～ 04/12 20:18