IMEC主导SSTS永续半导体联盟 预测IC价值链晶片制造对环境影响 https://bit.ly/3nTEoGI 比利时独立研究机构IMEC主导的半导体联盟，携手半导体设备和零组件企业等推进制程朝 向3奈米、1奈米开发，并把获得的各种数据分享给半导体会员企业。IMEC与台积电（TSMC ）、ASML和英特尔等600多家企业和大学等建立了合作关系。 IMEC是全球领先的奈米电子和数位技术研究和创新中心，於10月28日表示，苹果公司（ Apple）因产品热卖，已参与由IMEC推动的一项新研究计划SSTS（永续半导体技术与系统 ）。 SSTS计划旨在预测整个IC价值链中半导体晶片制造技术（能源消耗、化学品、材料、超纯 水、温室气体如NF 3）对环境的影响，以及将相关组织群聚在一起进行技术开发。为了通 过使用具体可靠的模型和详细的碳足迹分析，以减少IC制造过程中的环境负担。 东京电子表示，不仅是制程改良，在成本方面对新一代EUV通过开发新一代EUV系统，力争 在2025～2026年之前实现1奈米节点半导体的量産化。 其实，原材料领域对於半导体的制程开发来説，很关键且不可或缺。所以，IMEC展开与日 本大学及企业合作，例如：成膜技术的开发。还有，EUV的光阻剂方面，日本材料企业JSR 通过与IMEC的合资公司生産面向EUV的光阻剂，大日本印刷正携手IMEC开发用於新一代半 导体的光掩膜。 未来，企业要在半导体相关産业之中生存下去，必须加强与IMEC等其他企业和组织的合作 ，不断探索未来技术的方向性。 　　 同时，半导体的绿色转型也是重点。IMEC表示，许多公司设定到2030年总体净零碳排的目 标。他们正在努力实现这一目标，但半导体制造缺乏2030年的碳排放数据。所以，IMEC发 挥作用并有能力提供这些数据，以准备支持半导体行业，有助於整个供应链都能碳足迹追 踪并减少碳排放的目标。 --

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