补充一下几点 ※ 引述《moonth66 (一天工作14小时 ! 真操 .)》之铭言： : IMP 分为 Wheel ChamDber与Single Camber因为Wheel Chamber 的报废批太大一 : 次13Pcs，所以GG後期皆改良为Single。 : 其中High/Medium Current如果是Indium orGermanium 那会常PM後outgassing : 到往生，其实有解决方法，只要把粉状药剂与Source Head放在最後装上，且Source Hea : d/ Liner需昨天就已置於烤箱中，可减少outgassing的时间，再者建置高真空时，前後多 : 做几次N2 purge，可减少异味也可快速建置真空，其实最怕做到此类型机台，有时候 Exh : aust没做好，异味外泄有可能全场疏散。 solid source有一种更可怕的东西叫CBH的 Source Head不但跟一般的还不一样,还两天就 要换一次真的会搞死人 : 另一项最为头痛的为Source Head Filament/PFG Short，其中S/H short 有解决 : 方法，就 : 是将 Filament Cathode 与 Liner 间 改良Liner为倒梯形，一方面不会导致Plasma外逸 : ，另一方面可以增加Filament Cathode 与 Liner 间距，减少Short的机会延长PM时间。 : Source Head也常常建置真空後，S/H後端外管漏水，解决方法为建置OFF Line 测 : 漏水。 Varian较旧的机型HCS D2或是现在的Trident EPM在烂的的时候,会glitch到你怀疑人生 : S/H O-ring 对建置高中空也其为重要，最好OFF Line就检查，当建置粗真空时( : 即Turbo : Pump 打开) 一定要用N2测漏仪器测漏，否则建置不起来高真空，或是导致 Cryo Pump 回 : 温这可能要到隔天去了。 测漏不是N2啦 是He S/H O-ring其实还好 我绝对不会说很多人换Source Head没在测漏的 S/H 除非大漏不然一般来说不太会影响IG2 IG3的值 真的需要测漏的是Dose Cup 有漏就真的会影响到Dose量了 : 因为IMP制程适用於半导体与Dram，但是Dram 的IMP Recipe其 Energy与Dose相 : 对单纯固定，不像半导体有几百只IMP Recipe常常需要切换，导致常常需要PM。 : 其IMP 所学范围极窄，只是用半导体业，GG 转职也只能去 Vendor作 trouble : shooting或帮忙原厂更新零件配置的功能，离开GG，人生GG，忠言又逆耳。 : ※ 引述《yai5217 (しゅぽん)》之铭言： : : 人在日本出差 晚上无聊来发发废文聊一下imp : : 小弟之前在某fab内顾过几年的imp : : 台湾的imp机台供应商大概有三家 AMAT Axcelis SHI : : 小弟只顾过两个A社的 : : 所以聊聊这两家的机台 : : 前面有人提到说 没三年不敢说懂imp : : 个人还蛮认同的 : : 没一定经验我看连想解读alarm message都蛮困难的 : : 不过说是真空机台内最难的我倒是不太认同 : : 毕竟imp内部没有光路 随便一台有光路的机台难度都屌打imp : : 而且就算被PE highlight 说机台run出来的产品有问题要处理 : : 最後也就换换parts tunebeam完以後就完事了 : : 另外IMP个人认为算是蛮危险的机台 : : 不光是平常使用的是毒气之外 (B P As) : : 还有机会会发炉 有遇过一抽真空机台就shutdown开始冒烟 : : 而且机台parts普通偏重 又需要常常拆卸 : : 危险性跟其他module比起来应该也有前三吧 (? : : 後面聊聊机台 : : AMAT现在主力的机台是trident 900xp : : 这两种beamline型机台 只要平常parts的品质够好 : : 顾起来都算轻松的 (反而言之parts烂的时候就知道了XD) : : 另外还有一种叫PLAD 顾到这种机台的很屎 : : 不光是机台很屎 闻起来也很屎 : : 不过这机台就真的比较难 应该很少会给新人顾 : : 但是PM的时候就会很想死了 因为真的很臭 : : axcelis的机台就high energy类跟现在最新的purionH : : a社的机台就很难顾 : : 因为AMAT的机台程式整合得很好 照着SOP通常都不会有甚麽问题 : : a社的就很多毛 传片也是特别的disk式 : : 是以前八寸的霸者 现在就被AMAT打趴 : : 至於以前上班的生活 : : 大概就是PM 顾SPC、FDC 捡螺丝 刷地板 整理环境之类的 : : 值班就是有消不完的alarm跟tune不完的beam还有跟OP吵架 : : tunebeam也很吃个人技术跟经验 : : 要怎麽tune到小姐都觉得你超屌就是个人技术了 : : 心得大概就是这些 : : 虽然我最後还是离职了 : : 不过普遍听到的imp的离职率其实还蛮低的 (连日本的fab好像也是) : : 或许imp真的就是这麽好顾也说不定 -- Q ◢ ▲ 56 9 2/17 - □ (已被分类帽删除) <乡民>超贴 S ◢▲─ ▲ 62 1 2/25 - □ (已被分类帽删除) <乡民>政治问卦 W ▲ ◣_◢ ▲ 66 3 2/27 - □ (已被分类帽删除) <乡民>专板 E ─ 82 X2 3/02 - □ (已被分类帽删除) <乡民>引战 E ▃▄▇ ▇▆▃ 339 5 3/05 - □ (已被分类帽删除) <乡民>无八卦 T ▂= ─ ─ =▂ 452 爆 3/07 - □ (已被分类帽删除) <乡民>一行文 --

※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc), 来自: 123.205.189.124 (台湾) ※ 文章网址: https://webptt.com/cn.aspx?n=bbs/Tech_Job/M.1569125083.A.A7C.html ※ 编辑: livefishfish (123.205.189.124 台湾), 09/22/2019 12:10:58