作者moonth66 (一天工作14小时 ! 真操 .)
看板Tech_Job
标题Re: [请益] 台积离子布植设备
时间Sun Sep 22 10:10:33 2019
IMP 分为 Wheel ChamDber与Single Camber因为Wheel Chamber 的报废批太大一
次13Pcs，所以GG後期皆改良为Single。
其中High/Medium Current如果是Indium orGermanium 那会常PM後outgassing
到往生，其实有解决方法，只要把粉状药剂与Source Head放在最後装上，且Source Hea
d/ Liner需昨天就已置於烤箱中，可减少outgassing的时间，再者建置高真空时，前後多
做几次N2 purge，可减少异味也可快速建置真空，其实最怕做到此类型机台，有时候 Exh
aust没做好，异味外泄有可能全场疏散。
另一项最为头痛的为Source Head Filament/PFG Short，其中S/H short 有解决
方法，就
是将 Filament Cathode 与 Liner 间 改良Liner为倒梯形，一方面不会导致Plasma外逸
，另一方面可以增加Filament Cathode 与 Liner 间距，减少Short的机会延长PM时间。
Source Head也常常建置真空後，S/H後端外管漏水，解决方法为建置OFF Line 测
漏水。
S/H O-ring 对建置高中空也其为重要，最好OFF Line就检查，当建置粗真空时(
即Turbo
Pump 打开) 一定要用N2测漏仪器测漏，否则建置不起来高真空，或是导致 Cryo Pump 回
温这可能要到隔天去了。
因为IMP制程适用於半导体与Dram，但是Dram 的IMP Recipe其 Energy与Dose相
对单纯固定，不像半导体有几百只IMP Recipe常常需要切换，导致常常需要PM。
其IMP 所学范围极窄，只是用半导体业，GG 转职也只能去 Vendor作 trouble
shooting或帮忙原厂更新零件配置的功能，离开GG，人生GG，忠言又逆耳。
※ 引述《yai5217 (しゅぽん)》之铭言：
: 人在日本出差 晚上无聊来发发废文聊一下imp
: 小弟之前在某fab内顾过几年的imp
: 台湾的imp机台供应商大概有三家 AMAT Axcelis SHI
: 小弟只顾过两个A社的
: 所以聊聊这两家的机台
: 前面有人提到说 没三年不敢说懂imp
: 个人还蛮认同的
: 没一定经验我看连想解读alarm message都蛮困难的
: 不过说是真空机台内最难的我倒是不太认同
: 毕竟imp内部没有光路 随便一台有光路的机台难度都屌打imp
: 而且就算被PE highlight 说机台run出来的产品有问题要处理
: 最後也就换换parts tunebeam完以後就完事了
: 另外IMP个人认为算是蛮危险的机台
: 不光是平常使用的是毒气之外 (B P As)
: 还有机会会发炉 有遇过一抽真空机台就shutdown开始冒烟
: 而且机台parts普通偏重 又需要常常拆卸
: 危险性跟其他module比起来应该也有前三吧 (?
: 後面聊聊机台
: AMAT现在主力的机台是trident 900xp
: 这两种beamline型机台 只要平常parts的品质够好
: 顾起来都算轻松的 (反而言之parts烂的时候就知道了XD)
: 另外还有一种叫PLAD 顾到这种机台的很屎
: 不光是机台很屎 闻起来也很屎
: 不过这机台就真的比较难 应该很少会给新人顾
: 但是PM的时候就会很想死了 因为真的很臭
: axcelis的机台就high energy类跟现在最新的purionH
: a社的机台就很难顾
: 因为AMAT的机台程式整合得很好 照着SOP通常都不会有甚麽问题
: a社的就很多毛 传片也是特别的disk式
: 是以前八寸的霸者 现在就被AMAT打趴
: 至於以前上班的生活
: 大概就是PM 顾SPC、FDC 捡螺丝 刷地板 整理环境之类的
: 值班就是有消不完的alarm跟tune不完的beam还有跟OP吵架
: tunebeam也很吃个人技术跟经验
: 要怎麽tune到小姐都觉得你超屌就是个人技术了
: 心得大概就是这些
: 虽然我最後还是离职了
: 不过普遍听到的imp的离职率其实还蛮低的 (连日本的fab好像也是)
: 或许imp真的就是这麽好顾也说不定
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc), 来自: 223.26.97.103 (台湾)
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1F：推 HowBa: 这系列文真不错 不知道未来有没有黄光、蚀刻等的机台分享09/22 10:20
2F：嘘 deltarobot: 排版09/22 10:21
※ 编辑: moonth66 (223.26.96.185 台湾), 09/22/2019 10:35:53
※ 编辑: moonth66 (223.26.96.185 台湾), 09/22/2019 10:37:29
3F：推 Jolube: 好奇有哪个顾机台所学范围不窄 09/22 10:41
4F：→ loadingN: 其他产业的know how 你下班一样用不到 09/22 10:42
5F：嘘 motsu9876: 晶晶体 09/22 11:05
6F：推 water5251: 好文必须推啊！！！ 09/22 11:35
7F：推 kai800905: 专业推 不过没做过imp应该看不太懂 09/22 11:43
8F：推 moonchris: 离开了 感恩但庆幸 09/22 12:00
9F：推 Xintec: 推 09/22 12:01
10F：推 gucciisgod: 专业本来就是窄门呀，时间有限不可能样样精 09/22 12:35
11F：推 snoopy790428: 前蚀刻设备表示好像懂又好像不懂 09/22 12:42
12F：→ KurakiMaki: 没做过IPM也看得懂啊...真空有beam的东西不都大同小异 09/22 13:04
13F：→ KurakiMaki: 如下面那篇说的，测漏是He不是N2... 09/22 13:08
14F：推 KurakiMaki: 以後出去可以去顾炸鸡排设备啊，油温曲线控制 09/22 13:19
15F：→ KurakiMaki: 对各类炸物的影响，多久要PM一次滤网，换油跟filter 09/22 13:20
16F：→ KurakiMaki: 鸡排面浆的涂布(Coating)，炸成金黄色(Development) 09/22 13:24
17F：→ KurakiMaki: 撒胡椒粉(Pepper Implantation) 09/22 13:26
18F：→ KurakiMaki: 目视检查(Visual inspection)，装袋封装(Packaging) 09/22 13:28
19F：推 rosty: 推....这系列文应该要推广才是 09/22 13:37
20F：推 sunshinelee: 有点想问这版的，有看过医生骨科转泌尿科，皮肤科转 09/22 14:32
21F：→ sunshinelee: 眼科吗？但从荣总转到长庚，高医转到地区医院很正常 09/22 14:33
22F：→ sunshinelee: 。 同理IMP 转ETC 或转DIF也是接近不可能，但是你高 09/22 14:33
23F：→ sunshinelee: 兴可以从GG转去UMC 没人会拦你 09/22 14:33
24F：→ sunshinelee: 但假如是小七店员，你要转百货专柜，转保全，转保险 09/22 14:35
25F：→ sunshinelee: 业务，转餐饮业，我相信更可以成功转职～～～ 09/22 14:35
26F：推 Incentive: 推大大分享 09/22 14:47
27F：推 benden: 推 09/22 15:24
28F：推 Lindeman5566: 这种文用晶晶体才好读好吗 嘘的到底在想啥 09/22 15:32
29F：推 MINGSING: 最後一段是重点啊.... 09/22 16:39
30F：推 mengmengcats: 嘘晶晶体的有没有在科技业上班啊？ 09/22 17:24
31F：→ AnXD: 加入台积，正是时机 09/22 19:27
32F：推 h321123aa: 嘘晶晶体的是没在fab待过是不是… 09/23 00:06
33F：推 oliver902: 我也都看得懂 囧 当初要PM 前把要换的SH 放在烤箱真的 09/23 00:17
34F：→ oliver902: 有差，但还不像老鸟一样可以半夜短路自己PM ，要换SH 09/23 00:17
35F：→ oliver902: 拆装真的很麻烦… 09/23 00:17
36F：推 Gaujing: P到最後完全靠运气 甚麽鸟状况都有可能 09/23 02:23
37F：→ Gaujing: Filament断掉 用久密封差抓不到漏点 还有Cathode跑掉的 09/23 02:26
38F：→ Gaujing: PFG桐柱烧掉 换parts没装好真空不足 09/23 02:28
39F：→ moonth66: 曾半夜自己完成quaternary PM，因为隔天刚好要P，只因 09/23 06:40
40F：→ moonth66: 为时间点尴尬，刚好凌晨1点 S/H 断掉 09/23 06:40
41F：推 yikkung: 嘘晶晶体的在科技业工作吗哈哈 同事讲话都是这样的 09/23 09:46
42F：→ Gaujing: 一个人喔...这麽硬XD 09/23 19:10
43F：→ moonth66: 不晓得有没有人在凄凉的寒冬晚上，外面飘着毛毛细雨，独 09/23 20:03
44F：→ moonth66: 自推着推车经过长廊去仓库领料，回到机台旁，自己P年保 09/23 20:03
45F：→ moonth66: ，慢慢度过这个孤寂的寒夜！ 09/23 20:03
46F：推 oliver902: 年保也太硬…该不会连石墨都要自己换吧？！ 09/23 20:15
47F：→ moonth66: 慢慢换，反正有9小时，至少不用出来交接晨会被狗干！ 09/24 06:32
48F：推 Gaujing: 都穿无尘服应该感受不到XD 09/24 12:35
49F：推 sky27: 专业文 没10年写不出这些心得 09/24 14:59