1. 主旨：TWofPRC 违反板规4-0 4-2-4 水桶一个月 2. 说明：经板主巡视板面，TWofPRC 发内容不实夸大文，违反板规4-2-4， 板友引文应稍微确认文章之来源与真实性，以免误导。 且一年已有多次违规记录，符合板规4-0加重处份，予以水桶1个月。 若水桶解除後，一年内仍再犯，将给予水桶10年处分，请谨言慎行。 4-0. 4-1至4-10规范之处份为初犯之裁量标准，当板主主观判定为闹板、 恶劣行迳或一年内多次违反板规板主得直接砍文、退文并加重处份。 4-2.闲聊文、日记文、股票点薄弱、伸手文、喊盘文、无关股板之文章，砍文处份。 4-2-4.喊盘文：夸大言论或发文分析内容不充实者。 具体证据： 1. 本次违规文章(原文已删除)： 作者 TWofPRC (黄金) 看板 Stock 标题 [新闻] 国产的SP光刻机到底牛在哪儿？ 时间 Fri Nov 30 19:20:12 2018 ─────────────────────────────────────── https://www.leiphone.com/news/201811/8uGdqI4Z63FAipyX.html 最近“我国成功研制出的世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备”的新闻刷屏了。有 些人欢欣鼓舞，有些人不屑一顾。那么这个装备到底实力如何，牛到底牛在哪儿？ 先回答大家最关心的两个问题： 1、我们可以实现芯片彻底国产化了吗？ 答：暂时还不行。 2、不吹不黑，这个装备真的这么厉害吗，还是只是吹牛？ 答：确实很厉害。 很多人只盯着新闻里22nm这个指标，其实大家要关注的是“365nm的光源，单次曝光线宽 可达22nm”。注意到我加黑的那几个关键词了吗？22nm指标虽然很棒但是业界早就做过 了，到底哪里厉害呢？所以关键是用365nm的光源单次曝光做到22nm，懂点光学的就知道 这意味着什么：打破了传统的衍射极限。 所以在我看来，这台机器最大的价值是验证了表面等离子体（SP）光刻加工的可行性。 这台SP光刻机与ASML光刻机对比怎么样呢？举个不恰当的例子吧，这就像是初期的枪械 与最厉害的弓箭的对比。早期枪械，比如火铳，无论是射击精度还是射击距离都远远比 不上厉害的弓箭，但是如今的狙击枪早已把弓箭甩开十万八千里了，这就是原理性的胜 利。 要理解刚才说的这个“原理性的胜利”到底是怎么回事，我们首先得回顾一下以ASML为 代表的传统光刻机是怎么做的。 上面是ASML光刻机简单的原理图，抛开复杂的监测设备不谈，最核心的原理就是通过物 镜系统将掩膜版上的图案进行缩印成像。涉及到成像过程，就不得不考虑光的衍射极限 。即便抛开所有的几何像差，由于衍射的作用，一个无限小的点成像后也会变成一个弥 散斑，被称为“艾里斑”。因此实际光学系统成像的分辨率就是两个艾里斑恰好能够分 开的距离。 所以由于衍射效应，成像分辨率会受到限制，最终的分辨率取决于波长、数值孔径等参 数，波长越小、数值孔径越大分辨率则越高。所以ASML这些年来主要的研究方向就是利 用更短的波长（近紫外-深紫外-极紫外）、增大数值孔径（更复杂的物镜、液体浸没） 。但是每进一步都变得更加艰难，对系统设计、加工装配、误差检测等等诸多方面都提 出了更为苛刻的要求，成本也越来越高昂。 那么表面等离子体光刻又是怎么一回事呢？表面等离子体指的是一种局域在物质表面的 特殊的电磁波，随着离开物质表面距离的增大迅速衰减，一般认为波长量级以上的区域 就不存在了。 更为神奇的是，虽然表面等离子体波是由其他电磁波激发的，但是波长会被极大地压缩 ，而压缩的比例取决于材料的电磁性质等参数。 这就意味着，利用表面等离子体波进行光刻时，从原理上就不在受到传统衍射极限的限 制了。 在光刻机研制方面，我们一直有两个选择：沿用ASML的老路走一遍，还是另辟蹊径通过 新原理弯道超车？我们国家目前两个选择都在做。而这台SP光刻机的研制成功，就是让 我们看到了弯道超车的可能性。其实从原理上，这简直就不是弯道超车了，而是在别的 人还在绕山路的时候，我们尝试着打了一条隧道……虽然还没有完全挖通，但曙光就在 眼前了。 心得： 这个报道的是SP光刻机，是做光电器件类的器件和芯片，不是做手机和电脑芯片的。的 确不是通用芯片光刻机。但光电器件，也很重要不可或缺。 　　它的意义在於 　　中国在光电器件类的器件和芯片上领先。这个光电器件也很重要，光电技术，是电 子技术的重要组成部分。 　　那麽，中国大陆和西方，就形成了相互依赖。 　　也就是说 　　如果西方在通用芯片技术上，比如说在手机电脑芯片上，卡住中国，中国会两眼一 抹黑，很糟糕。那么中国也可以在光电器件技术上卡住西方，那么美国和西方也会两眼 一抹黑，很糟糕。 　　更重要的是 　　光电子技术，是电子技术的继续发展，是未来的发展方向。是五年十年后人类迫切 需要的技术发展。所以，SP光刻机，是通用芯片光刻机的继续发展。 　　也所以，对西方来说，五年十年后的光刻机，中国先人一步造出来了。也就是说， 中国的光刻机技术，实现了弯道超车，超到前面去了。 台积电後市如何走？ --

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