作者ttucse ((((>(￣▽￣)<))))
看板Gossiping
标题[问卦] 晶圆是怎麽对准光罩的
时间Mon Apr 22 22:35:30 2024
晶圆在曝光的时候要对准光罩
曝光好几次就要对准好几次
要是没对准不就废了
我看要对准至少精度要到奈米等级吧
怎麽对准的啊
机器手臂或移动的装置可以精确到奈米等级吗？
也太厉害了吧
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1F：推 nitvx: 小精灵101.137.80.219 04/22 22:35
2F：推 solomonABC: 用五楼的奈米屌111.254.61.213 04/22 22:35
※ 编辑: ttucse (36.226.64.252 台湾), 04/22/2024 22:36:54
3F：嘘 potential208: 都几年了现在才知道？ 219.86.9.15 04/22 22:36
4F：→ Carmelo: 有好几个对位mark 36.224.232.160 04/22 22:37
5F：推 AmigoSin: 小精灵 42.72.64.36 04/22 22:37
6F：推 ampeial: 对岸都用美工刀刻出三奈米 你还在用火 36.230.155.71 04/22 22:37
7F：推 s871413: 自己的功课自己做 220.141.17.69 04/22 22:37
8F：推 AgentSkye56: 拿镊子乔角度吧 101.10.13.39 04/22 22:39
9F：嘘 Qoo20811: 有Lmark和检测站看有没有overlay 59.102.211.98 04/22 22:39
10F：→ AgentSkye56: 去买几支尺 你也可以对的很准 101.10.13.39 04/22 22:40
11F：→ Sarvmill: 用战略级的雷射定位基板定位beam111.255.118.180 04/22 22:40
12F：→ jumperman: align mark和BIB overlay... 42.73.255.135 04/22 22:41
13F：→ Sarvmill: 这种基板如果要进台湾必须先有美国老爸111.255.118.180 04/22 22:41
14F：推 andy70612: 去问优志旺 36.238.48.107 04/22 22:41
15F：→ Sarvmill: 同意，要换的申请很麻烦111.255.118.180 04/22 22:41
16F：→ MKAngelheart: 曝光机是会曝alignment mark的 曝 42.76.166.220 04/22 22:42
17F：→ MKAngelheart: 光前还有一大堆参数输入 大可不必 42.76.166.220 04/22 22:43
18F：→ MKAngelheart: 担心 就算没对准是可以rework的 42.76.166.220 04/22 22:43
19F：嘘 ionchips: 对位标记... 114.45.212.177 04/22 22:43
20F：推 Sarvmill: 楼上的你说的只是静态定位，画片中还需111.255.118.180 04/22 22:43
21F：→ Sarvmill: 要动态补偿定位111.255.118.180 04/22 22:44
22F：→ chris44099: 动感光波 啊哭胸毕姆 114.39.97.209 04/22 22:46
23F：推 Sarvmill: 以shot数来说一片光罩以数亿笔资料计111.255.118.180 04/22 22:47
24F：推 NECKS: key 61.230.56.17 04/22 22:48
25F：推 vapour1001: 你去当产线三宝中的签王制程就知道了 111.83.136.216 04/22 22:53
26F：→ aippa: 补正是同时进行的啦 一台这麽贵也不是卖假 42.72.143.221 04/22 22:53
27F：→ kickmeout: 文具店就有卖了..加上WD40 好用 125.228.76.59 04/22 23:08
28F：推 qasx: 靠各种mark和sensor量测来定位的 31.20.233.9 04/23 00:37