作者justtoothick (负八)
看板comm_and_RF
标题[问题] 想请教半导体设备相关的问题
时间Mon Jan 12 12:02:06 2015
想请教一下半导体设备达人
小弟我现在就职於以turbo pump维修为主的公司
客户大部分都是半导体厂，目前知道的部门有TF,DIFFUSION, ETCH, CVD
从他们公司来的pump常常会有很多制程物沉积在上面
想请问这些沉积物主要可以分为哪几种呢?(可以从颜色或其他特徵来区分吗?)
那半导厂在保养机台的时候，是否有特定的溶剂去对机台进行清理呢?
有的话是哪些溶剂呢?(应该不同制程有对应不同的溶剂吧?!)
希望知道的大大可以分享一下
谢谢
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