作者LScouple (找到出路)
看板comm_and_RF
标题[问题] TiO2 and Al2O3
时间Wed Dec 9 19:17:03 2009
想请问ㄧ下这两种材料
用E-gun去镀的话品质会不会很差
跟sputter or sol-gel比(TiO2) 跟ALD or sputter比(Al2O3)
想再问ㄧ下一般想镀薄薄ㄧ层Al2O3 都是用哪一种方法
ALD哪里可以借得到(台北台大佳)
谢谢
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