作者cosses (你要加油)
看板comm_and_RF
标题[问题] 请问一下关於12寸wafer notch与orientation的关连
时间Mon Jul 14 13:35:08 2008
不好意思我想请问一下
若是8寸wafer,
晶圆的方向可从主切边(flat)与副切边的相对关系来判定
是<100>或是<110>等等
那我想请问一下
现行的12"wafer都已改成notch
那要如何从notch来找wafer方向呢?
请问一下,谢谢
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