作者Hydrisk (明日香)
看板Yup00-02
标题Re: Introduction
时间Sat Oct 15 14:46:45 2005
※ 引述《Hydrisk (明日香)》之铭言：
: ※ 引述《Hydrisk (明日香)》之铭言：
: : 光致电流(OBIC，optical beam induced current)之成像技术已被广泛地应用於半导体元
: : 件及积体电路之量测上。传统的光致电流即是以连续波雷射(CW laser)照射半导体元件，
: : 使其在空乏区(depletion region)上产生电子电洞对，这些载子可藉由外加逆偏压及回路
: : 而被侦测，
: 因此可藉由侦测电流之改变，
可检测半导体元件的缺陷，但我们却无法看到有关元件上各点的反应速率，相较於高频光
致电流，藉由超快雷射和雷射扫描显微镜及RF Lock-in Amplifier，我们可在扫出来的图
形经由FV300的内部配色上去比较元件上各点的响应时间(response time)。
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