【晶圆厂离奇事件簿】牛打嗝、5滴水造成良率下降　被亡灵诅咒…连萨满法师都来了 2025-09-21 07:40 / 作者 戴嘉芬 https://i.imgur.com/ckL8pEU.jpeg 台积电位於亚利桑那凤凰城的2座晶圆厂矗立在荒漠中，在当地是非常醒目的建筑物。取 自TSMC 护国神山台积电在全球积极布局，目前晶圆厂累计已达24座，美国亚利桑那第1期晶圆厂 去年底量产，第2期、第3期工厂正如火如荼兴建。不只是台积电，包括英特尔、恩智浦等 都在亚利桑那设厂；多年来，国内外晶圆厂却也流传造成设备故障、产线停摆的各种离奇 事件，原因从动物打嗝、原住民亡灵等等不一而足，有些直到现在还无法从技术、科学角 度解释，让工程师们茶余饭後大叹「难道科学的尽头是玄学？」 由荷兰资深科技记者马克．海因克（Marc Hijink）撰写的《造光者;Focus: The ASML Wa y》一书描述半导体设备巨擘ASML崛起故事。马克在〈护理大军〉第17章节中写道，亚利 桑那州的荒漠平原矗立着一座座半导体晶圆厂，英特尔、摩托罗拉、恩智浦都在此设厂， 而台积电两座崭新晶圆厂也耸立在地平线上。 「凤凰城每年有近300天艳阳高照，但晶圆厂内的无尘室却始终不见天日，与外界完全隔 绝，不容许任何人事物影响生产」。厂内设备承载着满盘的晶圆，沿着轨道来回穿梭，往 返於不同机台之间。「然而，一旦设备发生故障，整条生产线就会停摆，那些机器就在堵 在交通事故现场的车辆，卡在车阵中动弹不得」。 造价昂贵　曝光机堪称晶圆厂心脏 尤其是曝光机，它堪称晶圆厂的心脏，也是最昂贵的设备，负责关键的生产制程，最快的 设备每小时可产生300片晶圆，而晶圆上的每颗晶片价值达25万美元。因此，曝光机必须 时时刻刻维持全速运转。 马克在书中提到，曝光机只要定期保养，通常能维持98%至99%运作。但是，「人为疏失始 终无法完全避免，包括线路松脱、螺丝未锁紧、工具掉落，或是镜头上出现指纹或刮痕等 」，这些都还算可挽救的范围。 无尘室里最糟的状况，是漏水或光罩受损。光罩是晶片结构的独特蓝图，更换一片要花数 十万美元。一旦光罩出问题，厂内高层会立即聚集到机台边。 https://i.imgur.com/MHt4AGN.jpeg 晶圆厂无尘室的员工必须穿着无尘衣在里面工作。取自TSMC 台积电厂：5滴水落在机台胶层 自动产出瑕疵晶片 威姆．帕斯是台积电凤凰城厂区的现场主任，他对马克叙述自己曾遇过最棘手的案例。「 厂区内有一台浸润式机台经常出现莫名其妙的故障；每次重新开机後的两小时都会生产出 有瑕疵的晶片，然後又恢复正常，彷佛什麽事也没发生过。」 後来他们花了几个月才查出原因。原来，每次机器停止运转，都有5滴水珠落在胶层上， 导致胶层膨胀数奈米；这小小的变化足以让晶片图案出现偏移。等到水分蒸发後，胶层又 恢复原状，让人找不到机器出错的蛛丝马迹。 https://i.imgur.com/f8b6RP5.jpeg 台积电亚利桑那厂曾发生5滴水事件，机台会自动生产有瑕疵的晶片。图为正常的晶圆及 晶片。取自TSMC 无法预期的状况不仅来自机台本身。「无尘室虽然尽可能与外界隔绝，有时仍无法完全阻 挡外在干扰」；包括地震和雷雨造成的气压变化，都可能干扰微影制程。甚至有时候，问 题居然出现在几头牛身上。 英特尔厂：牛放屁、打嗝造成晶圆良率降低 英特尔就遇过一个离奇状况，有一阵子，晶圆厂每天良率都莫名其妙下降数小时。「研究 人员想破头才发现，元凶竟然是牛放屁与打嗝。」 每天凌晨1点到两点之间，风向会改变。附近乳牛场排放的甲烷气体会穿过空气过滤系统 ，溜进无尘室。这些「邻居」睡梦中所排放的气体居然足以影响生产，导致良率下降。由 於英特尔无法找到有效过滤气体的方式，只好花钱请3座牧场搬迁。此後，所有为晶圆厂 选址的人都知道，要特别注意厂区附近有没有牧场。 https://i.imgur.com/6ImyJ1c.jpeg 英特尔晶圆厂附近有牧场，牛睡梦中排放的气体导致晶圆生产的良率下降。图为英特尔无 尘室员工。Intel提供 某晶圆厂疑似被亡灵诅咒　只好请萨满来作法 晶圆厂里还发生过更离奇的事。马克继续写道，大约20年前，亚利桑那某座晶圆厂的曝光 机频频出问题。厂内工程师说：「从技术角度完全无法解释，不只是ASML设备出状况，所 有系统都有问题。」後来有人指出，晶圆厂位置所在地，很久以前曾是原住民的墓地。厂 长认为「晶圆厂一定是被诅咒了。」 於是，他们请来一位萨满巫师。萨满一到场就发现问题所在，工厂入口处的水泥方尖碑看 起来很像墓碑。他指的那个方尖碑说，「想安抚亡灵，最好先把那些东西拿掉。」接着， 萨满穿上无尘衣去检查生产线。检查完後，他对厂长说，「亡灵喜欢红色。」语毕默默离 开。 现场刚好有一个ASML镜头包装箱是亮红色的，厂长把纸箱折成一个小帐篷的形状，放在曝 光机上。 不可思议地，所有问题都奇蹟般消失了。那个红色小帐篷在机台上放的好多年，没人敢动 它。後来，这家晶圆厂订购新机台时，还特别向ASML提出要求，能不能在第二台机器上， 也放一个红色小帐篷。「Of course no problem！」 嘉义封装厂兴建以来风波不断！ 事实上，晶圆厂灵异事件不只发生在国外，台湾也时有所闻，尤其台积电嘉义封装1厂去 年5月整地时曾因挖出绳纹陶遗址而停工；後来，台大考古团队进驻进行抢救挖掘，挖出 出土物件包括绳纹陶及其破片，另有少量石刀、箭镞、贝壳、兽骨等，还发现数具儿童及 成年个体墓葬，出土文物已暂存於嘉义县文化局。12月之後，嘉义封装1厂获准继续兴建 。 嘉义厂复工後，工地意外频传！自今年5月以来，已发生6起工安事件，酿2死2重伤。先是 5/20有工人从鹰架坠落导致瘫痪。接着在5月26日，进行设备移入作业时，吊车吊挂指挥 手遭重达2吨的变压器压中，不幸身亡。7/16则有女工遭300公斤重的冰水管砸伤，导致不 治。7月20日，有一辆重约50吨板车翻覆，幸无人员伤亡。 据了解，厂区曾於7月17日恭请地藏王、土地公到工地坐镇，祈求工程平安。而板车翻覆 後隔天，亦曾安排乩童到工地作法，帮祖灵争取兴建「万善同归」小庙，祭祀无主亡灵， 并插下黑令旗，要求厂方信守承诺。 民俗专家廖大乙曾指出，人安、灵安与神安才有工安，台积电嘉义厂恭请关公镇厂，但关 公的神格是要消灭妖魔鬼怪，难免与祖灵产生冲突，厂区自然不得安宁。他建议以和为贵 ，诚意对待祖灵的感受，盖庙祭祀亡灵以保佑施工平安。 针对这座「万善同归」小庙是否已规划兴建，或已兴建完成？至截稿前，台积电尚未回应 。 https://i.imgur.com/wkxSlcx.jpeg 新竹县长杨文科曾公开爆料，为了兴建台积电宝山厂，整个大崎村几乎都迁移了，包括神 明跟公墓也跟着搬迁。资料照 不只是嘉义厂，台积电2奈米生产和研发重镇皆位於新竹宝山，新竹县长杨文科曾公开透 露，为了台积电盖厂，宝山乡大崎村村民几乎都迁移了，就连神明跟公墓也跟着迁移。所 幸，在搬迁前，已先跟保生大帝掷杯请求，获得允准。对於公墓迁移，则承诺兴建新的纳 骨塔，也获得同意。 杨文科还说，台积电员工用最有效率、最认真、最负责、最果断的方式去解决问题。「跟 其他公司都不一样，我非常敬佩。」 https://www.taisounds.com/news/content/76/214872 --

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