https://www.ntdtv.com.tw/b5/20230906/video/372862.html 聚焦先进制程 全球首创2nm制程镀膜设备亮相 【新唐人亚太台 2023 年 09 月 06 日讯】欢迎回来。国际半导体展今年扩大展出，横跨 台北南港展览馆1馆及2馆，吸引950家企业、10个国家筹组国家馆参展。展览聚焦半导体 先进制程，提升国产自制率；另外，全球首创、台湾第一个国产2奈米制程镀膜设备，首 次曝光。 半导体前段镀膜制程，从多道工序，整合成只要一个步骤。全球首创、台湾第一个国产二 奈米制程镀膜设备，相较传统设备提升25%的产能效率，首次在国际半导体展曝光。 工研院机械所组长 黄萌祺：「薄度是非常的薄，而且可以非常的均匀，能够满足未来这 种半导体，这种高深宽比的一个，这样子的镀膜的需求。把电浆跟热等等之类的，复合式 同时做在一个腔体里面，那我进去的时候，我就一次一站可以到底。目前我们可以把国产 零组件的比例从30%提升到60%以上。」 提升半导体设备国产自制率，工研院也携手台湾设备厂，开发相变化水冷技术，可达全球 最高千瓦散热水准，超越目前散热技术一倍以上，成功打进美国HPC晶片大厂供应链。因 应AI发展需求，半导体制造设备大厂东京威力科创，发表雷射晶边修整系统和极低温蚀刻 技术，并宣布扩大在台投资计画。 东京威力科创总裁 张天豪：「它是用雷射的技术取代过去用去离子水清洗，所以它整个 在超洁净水的节省，大概可以节省70%。今年度我们也把我们的洁净室做一倍的成长，台 湾的技术中心就在我们的新竹。明年底我们会正式启用我们台南新的营运中心，大概可以 容纳超过1000人的空间。」 崇越科技营运长 吴玉敏：「未来的争夺除了在技术面以外，去想办法找到，我们觉得有 潜力、有价值的人才才是当务之急，我想这个部分不会只有台湾的课题，我想全世界都会 面临到这样的问题。」 半导体材料整合服务大厂崇越，携手台厂以旗舰队的方式，提供半导体从IC设计到成品的 服务，打入国际。引进3D IC晶片堆叠金属细线路接合技术，抢攻CoWos先进封装市场。 崇越科技营运长 吴玉敏：「台湾在这麽小的范围里面，从前端到後端到供应链都很齐全 ，我想这个是一件很不得了的事情，也造就我们台湾半导体业有护国神山的产生。值得， 全世界各国的借镜。」 今年国际半导体展扩大展出，横跨南港展览馆1馆及2馆，包括950家企业、10个国家组国 家馆参展，除了美日德国之外，首度参展的荷兰，号召14家半导体厂商跟学术单位来台。 多国专业人士齐聚台湾，共同为半导体未来发展，深度交流。 新唐人亚太电视 陈辉模 李晶晶 台湾台北报导 --

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