作者tobbaco (tobbaco)
看板Tech_Job
标题Re: [请益] 日本一直把持光阻剂市场？
时间Wed Dec 7 12:05:12 2022
光阻Photoresist就是照光会反应的材料,没什麽困难的概念
在半导体上从低阶到高阶都会有,现在日本市占大的就高阶的光阻
大概占90%以上，都是信越 JSR TOK 富士软片跟住友占走
最高阶的EUV光阻,信越跟JSR跑在前面。
日本的有机合成经验多，且材料纯度高,做食品或味素的公司做电子
材料也可以卖很好。然後早起就进入光反应树脂的市场，累积大量开发
与合成经验当然越走越远，专利也越写越多
不过现在光阻的基础骨干结构与配方都写在Paper上，也不是甚麽新东西
材料现在有用MI在模拟，配方与结构迟早被摸出来。
剩下只有绕过专利惹，如果不理专利的话应该难度不会太高。
但是当然会不会只有配方这麽简单，每个layer的特性都要做调整
差几奈米的pattern效能天差地远。
除了配方以外，量产与纯化标准都高到不行，杂质含量也是0後面好几个0的程度
量产制造的与纯化要达到这个要求,know how也是很多,连环境也要高等的无尘室才行。
这些也是提早进入市场所累积出来的经验,现在EUV的技术与货物出口都要经过日本政府
审查同意，连开发人员都要身家调查才给摸，拿来当贸易武器的东西真的不一样。
最後，最重要的是，要有FAB给你测，晶片制造商很难让一个没有经验与信赖性的
原料供应商测光阻，不知道品质与量产能力，还没有实绩；如现在EUV的测试因为材料
供应商没有EUV的tool，只能给有tool的客户或是实验室测，整个拉长了开发时间；如果
有新来的供应商应该没甚麽空间能够生存。
所以自然就只剩下这些供应商存在了。
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc), 来自: 101.102.210.72 (日本)
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1F：→ sc1 : 做晶圆代工有产业升级条例晶片法政策补贴 光阻液无 12/07 12:38
2F：→ sc1 : 日系都是Vendor代理;理工科系进产线三宝是大宗12/07 12:38
4F：→ abyssa1 : 这个事件应该会让後进者门槛又拉高12/07 12:59
5F：推 cityhunter04: 别那麽认真回废文好嘛 12/07 13:03
6F：推 magamanzero : 认真的话 上次GG有个材料发生问题的事件 可以看看12/07 13:09
7F：→ magamanzero : 那会影响良率很严重的 12/07 13:09
8F：→ odahawk : 主管一句话「换了之後出问题谁负责」就不会有人试了12/07 13:36
9F：推 daredwolf : 推拉12/07 13:36
10F：→ faniour : 开头的逻辑，跟EUV就是比较短波的光，没什麽困难的 12/07 13:41
11F：→ faniour : 概念有什麽两样12/07 13:41
12F：→ faniour : 根本也不用什麽ML, 你要有评估机台的话平常做的DOE 12/07 13:43
13F：→ faniour : 就够了12/07 13:43
就有点不一样的反应机制，做出能反应的应该还行
难的是能做到符合High pitch或是crtical layer的光阻
评估Tool 材料商买不起，小庙供不了大佛
14F：→ faniour : 原料纯是一回事，做成高分子是另一件事。分子量中12/07 13:52
15F：→ faniour : 心值、分子量分布要做到几个标准差内，能稳定的做 12/07 13:52
16F：→ faniour : 到多窄，配方的生产准度有多高，还有无尘室有多洁净 12/07 13:52
17F：→ faniour : 通通影响最後产出。做出来了谁要陪练？有实绩线上也12/07 13:52
18F：→ faniour : 不一定敢换，没实绩的那根本是闹笑话。 12/07 13:52
对应不同layer有很多配方，大家都是要抢first source啦
19F：推 ISNAKEI : 概念很简单 做很难 聚合过程要保持均匀就很难了 12/07 14:04
20F：→ sc1 : 要做进口替代也是当局出来当召集人再加税排挤进口12/07 14:35
毛利比你想像的高,加税应该不太行
※ 编辑: tobbaco (101.102.210.72 日本), 12/07/2022 15:02:16
21F：推 wtl : 其实EDA也一样 软体做出来半导体厂不跟你合作认证也 12/07 14:53
22F：→ wtl : 没用 想当半导体供应商也没那麽简单12/07 14:54
23F：推 victor21835 : 专业12/07 15:59
24F：→ faniour : 不同制程光阻需要的感度跟穿透深度，跟旧世代的光12/07 18:27
25F：→ faniour : 阻差异又不是一点点，不是能反应就还行，深宽比、耐 12/07 18:27
26F：→ faniour : 蚀、模数、直线或挖孔的特性也差蛮多的，这样子能12/07 18:27
27F：→ faniour : 当差不多的话，那5或3奈米制程跟22奈米也是差不多12/07 18:27
28F：→ faniour : 的概念啊，不同的那一点点就是量产跟嘴炮的差别。12/07 18:27
29F：推 AxerBlizzard: 光阻的光化学虽然是照光交联，但其实其背後光化学12/07 18:52
30F：→ AxerBlizzard: 很复杂，光一个OXE-01的光反应文献都尚未有定论， 12/07 18:52
31F：→ AxerBlizzard: 其材料背後know how不只在有机合成而已。12/07 18:52
就像有时候code 可以跑跟飞机会飞一样
※ 编辑: tobbaco (49.97.29.6 日本), 12/07/2022 19:31:30
32F：→ faniour : OXE-01都几年了哪里还不知道 12/07 19:51
33F：→ faniour : 一路出到04、05都有了，原厂还被陆厂巴假的 12/07 19:52
34F：→ faniour : 专利没写好被找洞就算了，後来还被超越 12/07 19:54
35F：→ faniour : oxime ester type後来的专利申请数非常多，变来变去 12/07 20:12
36F：→ faniour : 大致上就是调整吸收频谱，调整侧链去配合溶解性与迁 12/07 20:12
37F：→ faniour : 移问题，改感度，改善厚膜表现，或是强化表面光交联 12/07 20:12
38F：→ faniour : 。但是这是负型光阻的材料，正型用的光酸热酸还有 12/07 20:12
39F：→ faniour : 酸放大剂又是另一个世界 12/07 20:12
40F：→ neil0611 : 最後一点最重要，GG不帮测就真的没用了 12/07 20:38
41F：→ faniour : 这些特化用品台湾不一定不能做，光引发剂就有本土 12/07 20:43
42F：→ faniour : 供应商，但光是靠本土的市场要熬到能开始外销就很 12/07 20:43
43F：→ faniour : 难。台商懂得要拿哪些原料来搭配的公司，多半具有 12/07 20:43
44F：→ faniour : 生产或是根本就只是不做而已，你是小供应商会不会 12/07 20:43
45F：→ faniour : 怕怕的干脆不卖或是市场评估完就不玩了。而且越下 12/07 20:43
46F：→ faniour : 游水又深又冰，给你做出光阻好了，费了各种人脉各 12/07 20:43
47F：→ faniour : 种资源，砸了一堆钱後，终於通过验证，价格开他一 12/07 20:43
48F：→ faniour : 公斤数十万好了，几吨几吨卖净利能不能赚个几十亿？ 12/07 20:43
49F：→ faniour : 半导体产线一次MO归咎到材料的问题，赔偿责任是几十 12/07 20:43
50F：→ faniour : 亿到百亿，新进厂商口袋要有多深，性格要有多扭曲才 12/07 20:43
51F：→ faniour : 要玩这种生意？ 12/07 20:43
52F：→ faniour : 对啊，做出来还没办法自己测到底怎麽知道做的好不好 12/07 20:44
53F：→ faniour : ？GG肯测也不会无限制的共享测到的结果，很多使用上 12/07 20:44
54F：→ faniour : 的问题没机台根本没有再现的可能，那要怎麽改？ 12/07 20:44
55F：→ Alone111 : 默克不是也有做光阻？ 12/07 21:54
56F：推 AxerBlizzard: OXE-01虽然出来很多年了，但在照光时的光化学反应 12/07 22:19
57F：→ AxerBlizzard: 机制一直到去年底都还有新研究论文发表。 12/07 22:19
58F：→ faniour : 如果有人发表新模型补充过去不足之处，这样要算得上 12/07 22:41
59F：→ faniour : 没有定论等等，那irgacure-907这种老掉牙的东西，前 12/07 22:41
60F：→ faniour : 几年有人也发了一些计算的内容，不就也要说过去一 12/07 22:41
61F：→ faniour : 样没有定论？这些东西如果还云里雾里的，就不会有 12/07 22:41
62F：→ faniour : 陆厂整系列的产品一只一只出来。甚至有开发商的专利 12/07 22:41
63F：→ faniour : 直接讲明用什麽计算模型去跑，键长应该落在哪个范 12/07 22:41
64F：→ faniour : 围比较适合。除了直接预测QY或自由基寿命这种需求， 12/07 22:41
65F：→ faniour : 大部分情况没那麽多不确定的地方 12/07 22:41
66F：推 AxerBlizzard: 新的文献并不是补足不足的部分，而是提出与先前认 12/07 23:05
67F：→ AxerBlizzard: 为的跃迁机制所预测的路径有不同的实验结果，虽然 12/07 23:05
68F：→ AxerBlizzard: 这些机制对於大多数情况并不会有很大的影响，但一 12/07 23:05
69F：→ AxerBlizzard: 些文献有提到这些机制的差异可能会影响到细微结构 12/07 23:05
70F：→ AxerBlizzard: 的CD跟LER 12/07 23:05
71F：→ AxerBlizzard: 半导体化学品不光专利布局的问题而已，没有在专利 12/07 23:08
72F：→ AxerBlizzard: 上的know how 也不少，本土厂商即便追上了能不能进 12/07 23:08
73F：→ AxerBlizzard: 厂验证还是另一个问题 12/07 23:08
74F：→ faniour : 验证一直以来都是关键 12/07 23:14
75F：→ faniour : 你讲的文献方便给DOI或关键字吗？没有也没关系，就 12/07 23:17
76F：→ faniour : 加减看看，现在不搞这个了 12/07 23:17
77F：→ faniour : 以光阻类的东西来说，敢写出来的多半都不怕抄，你 12/07 23:21
78F：→ faniour : 觉得他逆向工程超强呢还是没写的小东西才是真正重点 12/07 23:21
79F：→ faniour : 呢？这种阴人的细节，靠经验的know how很多吧 12/07 23:21
80F：→ sc1 : 叫教授去研发替代品 让学生去上班工作生活平衡啊 12/08 13:22
81F：→ sc1 : 让政府拨预算补贴研发光阻剂研磨剂 12/08 13:23