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标题[新闻] 台积电将氢氟酸废液合成冰晶石 估年创4
时间Wed Dec 1 14:25:09 2021
台积电将氢氟酸废液合成冰晶石 估年创4亿元效益
The Central News Agency 中央通讯社
2021年11月30日 14:15
(中央社记者张建中新竹30日电)台积电力推循环经济,於中科晶圆15B厂启用首座氢氟酸
废液合成冰晶石系统,预计民国112年扩大导入先进制程晶圆厂区,估计一年将创造新台币4
亿元效益。
晶圆加工与清洗制程会产生氢氟酸废液,为友善环境并提升废液的再利用价值,晶圆代工厂
台积电107年起与协力厂商合作启动氢氟酸废液回收技术研究。
台积电表示,透过分析废液浓度、再制技术、药剂制备与销售通路等面向,评估将氢氟酸废
液合成为高纯度冰晶石最具废弃资源高值化优势。
台积电指出,冰晶石主要用於铝工业做为助熔剂,可於电解炼铝过程中节省逾25%能耗,由
於全球天然冰晶石产量稀少且几乎开采完毕,现多为人工合成品,一般制作过程需较多原料
且反应温度较高。
台积电表示,以氢氟酸废液做为冰晶石制程原料,根据氢氟酸废液的浓度需求,与厂商合作
研发出可生成冰晶石的反应药剂,再搭配适当的操作参数降低反应温度,成功使氢氟酸废液
合成为高纯度冰晶石,可直接於厂内生产,在地研发的反应药剂也提升国内循环经济产业的
再生技术。
位於晶圆15B厂的首座氢氟酸废液合成冰晶石系统,今年9月正式启用,台积电指出,至11月
已减少氢氟酸废液委外处理量达500吨,产出冰晶石150吨,预计於112年扩大导入至先进制
程晶圆厂区,目标每年减少委外处理量4.6万吨,产出冰晶石1.2万吨,创造逾4亿元效益。
(编辑:林淑媛)1101130
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