此篇为工作满"一年"的制程整合工程师心得分享文，老鸟们可以忽略哈哈 为了分享工作内容给新鲜人学弟妹，尽量会避开一些业界术语 另外也欢迎职场前辈给一些工作上的建议，若叙述内容有误也欢迎指点 个人背景:四大学硕材料毕业，8寸厂研替一年 Routine的工作内容在以下会以问答式的方式说明: 对於顾量产产品的整合来说，最重要的就是让晶圆平安的出货 Q1:那如何确定做出来的晶圆是正常的呢?...(谈电性测试) 工厂会在晶圆某些地方铺上专门让工厂测试的元件，这些元件会用在客户的晶片里面 并且在出货前做元件的电性测试(threshold voltage,saturation current, breakdown voltage等等...)，如果测试的结果都在当初开发时所设定的规格范围内， 就能爽爽的出货，整合也会爽爽der，但天有不测风云... Q2:如果电性测试没过怎麽办?...(谈每天都在写报告) 这时候整合就要鸡飞狗跳了，必须开始清查制程的历史纪录，看机台有无异常，且这些 异常是否与这次的事件有关，再来就是看有没有其他电性也失效了? 这些失效的元件有没 有共通性? 用这些共通性去缩小清查范围，再来查一下制程的量测(gate的长度、gate oxdie的厚度、层与层之间的黄光overlay等等)有无异常，总之就跟考古一样，收集历史 纪录，然後编出一套有逻辑的故事，并指出犯人是谁，有时候犯人不只一个，有时候犯人 不会轻易认罪，有时候根本就是整合打错人了，这些就是要考验整合的经验跟实力了，当 然经验占得比重很大，所以请跟前辈建立良好的关系。 Q3:那如果出货电性都是好的，整合是不是就没事干啊?...(谈良率低) 对一半，至少份内的事情有做好，但工厂的电性测试是测元件，而不是测客户的晶片， 所以一定会有逮不到的问题，这时候客户的晶片测试就是跟良率(yield)有关了，良率 太烂是要赔钱滴，所以先前提到的考古方式要赶快做一遍，尽快找出机台。此时善良的产 品工程师会跳进来帮忙看客户晶片内的电路有无违反设计规则，也会帮忙做一些失效分析 ，例如EMMI/OBIRCH亮点分析跟电性分析)，再来是帮忙切TEM看critical layer，总之就 是合作找出问题给客户一个安心的答案。 Q4:那找出的问题是不是关掉机台後就没事啦?...(谈後续改善) 工厂是要赚钱滴，就算再烂的机台还是不能浪费它的产能，而且如果出一次事就关一台， 那全部关光光，大家也可以东西收一收回家啦~ 为了让有问题或老旧的机台还可以正常的过货，整合就必须与制程合作想出可以解决根本 原因的办法，在8寸厂，简单的问题其实前人就有碰过了，照着前人的方法解就好，只差 大家要不要花这心力做而已，所以在改善前，必须做出所有会影响跟改善的产品评估，并 且丢实验货去验证结果，证明改善是有效果的，如果是复杂的问题而又必须要解决时，就 会成立正式的CIT(Continous Improvement Team)固定时间开会讨论改善进度。 Q5:除了以上主线外，整合还有其他工作要做吗?...(谈支线任务) 1.客户对於制程问题的窗口基本上就是整合了，所以常常需要回答客户一些奇怪的问题， 还有帮忙做一些特别的事情。一些客户想要直接做制程调整(例如调整掺杂原子的剂量)， 就要适度帮他完成并出个报告给他，或是有些客户想改善他的元件或调整设计，但不知道 元件表现(I-V curve)是怎样时，就需要量个数据给他，所以偶尔就会有一些支线任务。 2.完成客户对线上产品的需求就是整合的工作，客户哪时要换光罩过货，哪时要停着暂时 不走，哪时要做实验，都是需要整合来帮忙控制，所以整合俗成货的onwer，而不只客户 ，工厂里任何人对货有需求时，就是要找整合处理，基本上是一些小杂事帮忙完成就好。 Q6:所以全部整合工程师的工作都是这样吗?...(谈整合工程师百百种) 以上经验应该只适用於8寸厂顾量产的新手整合工程师。 先进制程的整合工程师听说分得再更细一点，一个人可能只顾一段制程，但在顾什麽我也 不确定。 顾客户新导入产品的整合工程师，听说是要复制出客户在别家晶圆厂已量产的产品，所以 要复制一些自己家的制程兜出一条可以跑客户产品的制作流程。 对於资深的整合工程师来说，除了这些基本的工作内容以外，还会去深入了解厂内的系统 ，并与CIM(自动化)合作开发出一些节省人力的工具，还会接一些开发端转过来的产品平 台，至於其他细节我就也不太清楚了。 以待一年又跑不了的我的心得来说: 新手整合最重要的能力有三：收集资料、做报告、逻辑论述。有大量并精确完整的资料， 加上精美的报告才能让老板在短时间知道你想讲什麽，并且他问什麽问题都能回答，这样 报告打到制程那边也不易被反打回来，最好还能编出一些故事或机制更有说服力。 有闲时可以看一下前人发生的事件与报告，对於失效判断上的经验应该会有些成长。 而在元件的技术知识上来说，工厂整合还是远不及元件RD端跟客户端的，常常会听不懂人 家在讲什麽QQ，通常需要再更进一步的请教对方，尽可能偷一些知识回来，说不定下次也 会碰到一样的问题。 如果有还在学的学生想进半导体业的话，建议学硕还是选电机电子吧，毕竟以专业性来说 工厂端还是比较低的，但相对来说，任何理工科系都能进工厂，只要有心待久，经验多的 时候也能成为一种专业(吧? 心得文就到此，谢谢大家的收看~ ----------------------------------------------------------------------------- Blog分享版: http://pingworklife.blogspot.com/

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