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标题[新闻] 台积电、ASML联手推12寸High NA EUV光罩
时间Wed Sep 9 10:16:01 2026
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台积电、ASML联手推12寸High NA EUV光罩！2030年拟导入先进制程、2031年前建试产线
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2026/09/08
14:26
记者署名：
财讯新闻中心
原文内容：
台积电与ASML宣布发起产业合作，共同推动半导体产业转移升级至更大尺寸的极紫外光（
EUV）微影光罩，将High NA EUV自现行6寸光罩转移至12寸光罩，目标於2031年之前建立
12寸光罩试产线（pilot line），并於2033年之前实现微影系统全面就绪，以支援先进制
程量产。
ASML与台积电9月7日於加州蒙特雷举办的BACUS国际光学工程学会（SPIE）先进微影技术
研讨会前宣布发起这项产业合作，共同推动转移升级至12寸光罩，以将高数值孔径极紫外
光（High NA EUV）微影技术的价值发挥到极致。
High NA EUV将自现行的6寸光罩，转移至更大的12寸光罩，预期将进一步提升晶圆厂的生
产力、降低晶片制造成本，并消除需要两张6寸光罩在High NA EUV曝光时进行拼接的限制
，使整个半导体产业受惠。
双方指出，此次转移能让先进晶片制造服务提供者充分利用High NA EUV的优势，更提升
未来世代先进晶片的成本效益。
ASML总裁暨执行长Christophe Fouquet表示：「我们预期，随着元件微缩蓝图的推进，
High NA EUV的采用将逐步提升。初期透过沿用现行的6寸光罩，而後导入12寸光罩以进一
步提升设备生产力，让产业能够满足市场对更小、更快、更节能晶片的需求。我们很高兴
这项合作在初期便获得半导体制造厂商、光罩厂商、以及合作夥伴的大力支持。」
台积电董事长暨总裁魏哲家表示：「台积电深信，唯有产业携手解决复杂问题，才能开创
单一企业无法独力实现的无限可能。藉由汇聚产业价值链的专业力量，我们期许透过持续
创新来降低门槛，让先进解决方案得以大规模普及，进而持续传递尖端技术的价值。」
台积电有意自2030年起，在先进制程量产中导入ASML的High NA技术。随着制程技术持续
推进，特别是在AI应用带动电晶体架构日益复杂的趋势下，台积电预期需要使用High NA
EUV曝光的光罩层数将随之增加。
依照此次合作时程，ASML与台积电计画於2031年之前建立12寸光罩试产线，并为2033年12
寸High NA微影系统导入先进制程量产奠定基础。
此外，众多关键生态系统夥伴与供应商均出席此次活动，High NA EUV采用厂商及其他主
要供应商也表达参与意愿，突显产业对此的广泛支持。
心得/评论：
在常规 EUV 设备中，晶片线路能以 1:1 的光罩视场Field Size一次印在矽晶圆上。
但到了 High NA EUV（用於 2nm、A16 以下极先进制程），由於镜头放大倍率改变，光罩
视场被强制缩小了一半Half-Field
旧作法（6 寸光罩）：设计一个大晶片时，必须把电路拆成两半，用两张 6 寸光罩分别
曝光後再拼接（Stitching）起来。这会导致曝光时间翻倍、生产效率（WPH）砍半、光罩
成本爆增，且拼接处容易出现瑕疵。
新方案12 寸光罩：将光罩尺寸加大一倍，让 High NA EUV 能够一次完成全视场Full-
Field曝光，免去拼接光罩的麻烦，直接解决了产能与成本两大痛点。
因此光罩加大至12寸後从光罩基板、检测设备、光阻剂涂布机到机器人搬运系统全部都
要重新设计，将引发一波高阶半导体设备与检测材料的升级潮。
虽然时间尚远台积电对於规划一直在前。CC魏今年股东会说过「下面几年都很好，你如果
预计买股票，请继续」是有所本
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1F：推 xzcb2008 : 感觉台积电真的好猛=.= 09/09 10:16
2F：→ xzcb2008 : 在这样跑下去没有人追得到了吧 09/09 10:17
※ 编辑: suntw (175.181.104.58 台湾), 09/09/2026 10:18:32
3F：推 madaofreak : 台积RD是真的猛 09/09 10:18
4F：推 Focus788 : 家登一字锁 09/09 10:23
5F：→ dosoleil : 原来不是不买High NA EUV 只是还不够好才不买 09/09 10:23
6F：推 a86864290 : 光罩喷 09/09 10:30
7F：推 audic : 2030後依然一人武林 09/09 10:31
8F：推 sgeneral : 我退休就靠你了 台积电加油 09/09 10:33
9F：推 mynumber55 : 那一奈米要2033年罗～ 09/09 10:36
10F：推 ksjr : 要拚单位生产价格了? 09/09 10:39
11F：推 d0089145 : 没买过2330 要考虑买了吗.. 09/09 10:41
12F：推 luke0407123 : 股东会有说 有买 只是因成本考量 还没用而已 09/09 10:42
13F：→ luke0407123 : 联手ASML 其他竞争对手哭烂 09/09 10:43
14F：推 ma721 : 玻璃不要了 09/09 10:44
15F：推 ama75128 : 这样联手 对手会连车尾灯都看不到 09/09 10:46
16F：推 OO5O : 跟光阻涂布有啥关系啊 09/09 10:52
17F：嘘 Shepherd1987: 说个笑话 2033 09/09 10:56
18F：→ suntw : 光罩制造本身就需要光阻涂布 09/09 10:57
19F：→ Shepherd1987: 印象好像是E-beam写的 09/09 11:02
20F：推 wsx26997785 : 外国人越来越多人买TSM 09/09 11:10
21F：推 fp737 : 12寸光罩耶 09/09 11:11
22F：→ onomedu : 18寸不搞, 现在换搞12寸光罩 09/09 11:23
23F：→ kausan : 喷 09/09 11:24
24F：→ onomedu : 光罩检测修复商应该头痛死了 09/09 11:26
25F：推 gn01924077 : 这会拉高光罩制造技术的门槛，跟得上的厂商就吃肉 09/09 11:39
26F：→ gn01924077 : 喝汤 09/09 11:39
27F：推 roseritter : 另外两家 要玩6寸? 09/09 11:39
28F：推 gn01924077 : 猜测应该是关键层改12寸，其他层应该还是维持6寸 09/09 11:58
29F：推 donmos : 竞争者很难受 不跟直接被淘汰 跟了又注定钱坑当老二 09/09 11:58
30F：推 atpx : 信了cc魏、等回档就加码 09/09 12:21
31F：推 justiceyes : 相信魏哲家，年底 09/09 12:26
32F：推 ssarc : 台积电阶段性目标都蛮明确的 09/09 12:29
33F：推 Westzone : 当机要手拿光罩会抖死，6寸就不好拿了还12寸 09/09 12:40
34F：→ ahg : 相信cc魏 价格无所谓 09/09 13:12
35F：推 xc2v : 明天一根 09/09 13:20
36F：推 salamender : 毕竟现在最顶尖最新鲜的人才都在哪里了 09/09 13:22
37F：→ Sweet83921 : 好屌 已经看到2033了... 09/09 13:23
38F：推 kenndy : gg就是靠技术壁垒稳坐龙头啊！後面追那麽快 09/09 13:35
39F：推 Riyar : 光罩涨停 可是没他呀 笑死 09/09 13:37
40F：推 as6633208 : 神神神 09/09 13:46
41F：推 pqpqpqpq : 不会涨，没用吧 09/09 13:53
42F：推 mangojocker : 这跟2338看不出有关系啊 09/09 13:59
43F：→ mangojocker : 然後涨停 09/09 13:59
44F：推 KSUGOD : 台积电光罩 跟 家登没啥关系 09/09 21:00