原文标题：中国复制ASML的曝光机只是模型？专家解密 ※请勿删减原文标题 原文连结：https://ec.ltn.com.tw/article/breakingnews/5284914 ※网址超过一行过长请用缩网址工具 发布时间：2025/12/21 09:45 ※请以原文网页/报纸之发布时间为准 记者署名： ※原文无记载者得留空 原文内容： 《路透》日前披露，中国招聘荷兰半导体设备巨头ASML前工程师，以逆向工程打造出华府 耗费多年，阻止中国取得的半导体制造设备极紫外光曝光机（EUV；Extreme Ultraviolet ）原型机，引发外界关注。对此，数位创作者Eric Lin表示看法，认为中国此举这不只是 对技术的误解，更是对统计学的公然挑战，并指中国「钱能解决一切」的土豪逻辑，面对 EUV这台被喻为「外星科技」的集合体时，只会撞得头破血流。 Eric Lin周六（20日）在脸书发文指出，中国现在试图集合几百个挖角来的前ASML中国籍 工程师，意图复制这项从研发初期至今、全球累积超过数十万名顶尖大脑的智慧总和。这 不仅是对技术的不敬，更是对统计学的蔑视。 即便我们退一万步假设，中国倾尽举国之力，透过各种灰色管道凑齐零组件，真的在上海 或北京某个无尘室里，组装出了一台「长得像」EUV的机器：它有巨大的白色外壳，有传 送晶圆的轨道，甚至开机时还会发出类似的运转声。但这台机器的命运，注定只能是一个 昂贵的工业模型，而不是能印钞票的曝光机。 为什麽？原因很简单，因为EUV从来就不是乐高积木。Eric Lin称，把特斯拉拆散了，或 许能依样画葫芦造出能跑的电动车；但把ASML的EUV拆散了，你只能得到一堆几十亿台币 的废铁。这不是关於单一零件的逆向工程，这是一场关於「极限整合」与「隐性知识」的 物理学障碍赛。 一般人看EUV，只看到德国蔡司的镜头、美国Cymer的光源。这当然没错，但那只是冰山露 出水面的那一角。真正无法复制的，是 ASML 如何让来自全球、超过十万个顶级零组件， 在奈米尺度下精准协作。 试着想像这个场景：你要用雷射在几十公尺外击中一颗正在掉落的苹果，而且要连续击中 5万次。这还不够，这颗苹果本身还在一个高速旋转的转盘上。这就是EUV内部的真实写照 。 除了光学系统，EUV内部必须维持「极度真空」。因为极紫外光的波长极短，空气中任何 一点气体分子都会把光线吸收殆尽。这意味着ASML必须打造一个比外太空还要乾净的真空 腔体，而且在这个腔体内，还有高速移动的工件台在运作。而这直接引出了另一个被低估 的技术黑洞—双工件台系统（Twinscan）。 Eric Lin称，要在晶圆上刻电路，晶圆台移动的速度快得惊人，且急停急煞的加速度极大 。中国目前连在常压下控制这种精度的机械手臂都还不稳定，更别提在真空中利用磁悬浮 技术，去驱动2个重达几吨的工件台进行「华尔兹」。这2个台子一个在曝光，另一个在测 量，彼此切换的时间是以毫秒计算，误差必须控制在奈米等级。 「动态整合能力」差0.001秒 雷射就会打偏 只要震动稍微大一点点，或者磁悬浮的控制演算法稍微慢了0.001秒，雷射就会打偏，整 片价值数万美元的晶圆就直接报销。这种「动态整合能力」，不是买几张蓝图就能学会的 。 Eric Lin称，如果说硬体是骨架，那软体就是灵魂。这正是中国最感到无力的地方，即便 他们透过高薪挖角，找来了那些曾经参与组装的前ASML中国工程师，也无济於事。这些人 或许能凭藉记忆，教你怎麽把这堆复杂的乐高积木拼起来；他们看过图纸，知道骨架怎麽 搭、外壳怎麽锁，甚至能完美复刻出机台的物理外型。但这就是极限了。因为他们抄到了 肉体，却注定抄不到灵魂。 Eric Lin表示，EUV内部运行着超过5000万行的控制程式码，规模甚至超过波音787，这套 软体系统不是单纯的「开关控制」，它是一套具备自我修正能力的超级大脑。 EUV运作时会产生高热，镜头会热膨胀，机台会微幅变形。ASML的感测器遍布机身，即时 监控这些微小的物理变化，并透过演算法即时调整镜头位置与雷射功率进行补偿。 中国目前的困境在於，他们或许能写出控制机械手臂动作的程式，但无法写出这种「基於 几十年物理数据累积」的补偿演算法。这些数据是ASML在过去30年里，透过无数次失败累 积下来的「工业直觉」。没有这些参数，光有硬体，就像给了一个刚拿到驾照的新手一台 F1赛车，他连起步都会熄火。 EUV是ASML与台积电共同养出的怪兽 最後，也是最残酷的一点，EUV根本不是ASML一家公司造出来的。Eric Lin称，EUV是ASML 与全球顶尖客户（尤其是台积电）共同「养」出来的怪兽。一台新机器的原型机往往充满 缺陷，只有放到台积电这种对良率有着变态要求的工厂里，24小时不间断地运转，才能暴 露出隐藏的问题。 台积电的工程师经常发现连ASML自己都没发现的Bug，比如某个特定角度的曝光会造成边 缘模糊，或是某个频率的震动会影响对准精度。这些来自第一线的「反馈数据」，是ASML 修正机器、最佳化下一代产品的养分，於是形成正循环：台积电用得越多，ASML 改得越 好；ASML 改得越好，台积电良率越高。 反观中国，连DUV微影机都还没能完全吃透，良率控制依旧成谜。在缺乏顶级制程回馈的 前提下，试图凭空打造EUV的控制逻辑，这不叫研发，而是盲人摸象。 连走路（DUV）都还会跌倒，就想要学飞（EUV），中国弯道超车最後却翻车的案例太多了 ，就连电动车产业，最近中国车厂也接连翻车，都是因为没彻底抄，还自作聪明以为可以 省略范本中的"多余"部份。 最後，Eric Lin做出结论，称中国或许能用钱砸出光学镜片，也能挖角工程师做出雷射光 源，甚至能组装出一个外型一模一样的EUV空壳。但那个结合了德国光学、美国光源、荷 兰系统整合，以及台湾制程工艺的复杂生态系，是无法被单一国家复刻的。 这不是看不起中国的制造能力，而是对工业文明积累的敬畏。在物理学与供应链的铁律面 前，民族主义的热情，终究得让位给冷冰冰的良率数据。 目前中国砸重金都复制不出台积电在DUV时代的光荣，同样用多重显影，良率只有当年台 积电的5分之1，现在还想要复制EUV？ 心得/评论： EUV真的不愧是世界上最复杂的机器阿 里面的眉角,Knowhow太多了 ASML与众多合作夥伴也是经过很长时间的累积与经验反馈才有今日的成就 这个护城河还是很宽广 ※必需填写满30正体中文字，无意义者板规处分 -- --

※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc), 来自: 58.114.3.82 (台湾) ※ 文章网址: https://webptt.com/cn.aspx?n=bbs/Stock/M.1766417235.A.591.html