作者eli5816459 (司任平)
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标题Re: [请益] 台积制程没用到稀土吧？不是都是矽和锡
时间Sun Oct 12 22:06:32 2025
※ 引述《tony890415 (tony)》之铭言：
: ※ 引述《kingofsdtw (塔绿班)》之铭言：
: : 为何大家紧张的要死
: : 台积电根本不需要磁铁啊
: : 为何大家怕得要死？
: : 周一明明是加码好机会
: : https://i.imgur.com/AqRldYv.jpeg
: 半导体物理复习
: 历史要从45奈米讲起
: Intel 45奈米的外星科技（Tsmc UMC Samsung等等则是28nm才使用）
: https://i.imgur.com/0HAcrKy.jpeg
: 原本的闸结构都是Poly-SiON-Oxide
: 45奈米後变成TiAl(C)N-HfO2-Oxide
: 但同时IBM有另一套La2O3的制程
: 当年没被启用（三星当年先翻车）
: 不过啊 这个还有现代化版本的变种
: 现在制程太小了 需要融合Intel 与IBM的东西
: 就用到了金属 (La) 印象中这就是稀土了
: 不过啊 影响到最大的还是设备商
: 很多机构都要用到马达
: 电动车应该也蛮伤的
刚看了钜亨网的新闻，其中有些片段可以拿出来看看
https://reurl.cc/gYVD44
供应链警报响！稀土短缺将如何重创半导体先进制程产能？专家：供应安全比晶片设计更
重要
在半导体材料与耗材领域，稀土的应用同样关键。化学机械抛光 (CMP) 是晶圆平坦化的
核心工艺，其中氧化铈 (CeO ) 研磨剂因独特的可变价态 (Ce댠 /Ce )，能与二氧化矽
(SiO ) 表面反应生成易去除的铈矽酸盐，不仅提升材料去除速率，更能精准选择氧化
物层，避免侵蚀矽氮化物等周边材料，成为浅沟隔离（STI）制程的「标准配置」。
当半导体制程向 3 奈米、2 奈米推进，稀土在先进制程的作用愈发凸显。传统二氧化矽
(SiO ) 栅介质因漏电问题难以为继，产业转而采用铪、锆基高介电常数材料，并透过掺
杂镧 (La)、钇进一步优化性能，例如在氧化铕 (HfO ) 表面沉积氧化镧 (La O )，经
退火後镧扩散至介质 / 矽界面，产生界面偶极效应，降低电晶体阈值电压，满足低功耗
、高速度需求。
此外，稀土掺杂半导体材料展现出独特潜力。铕 (Eu댠 ) 的 4f 电子能阶跃迁可制备高
色纯度发光薄膜，与矽基 CMOS 制程相容，为矽基光电整合提供光源方案。
https://reurl.cc/yAd7v6
中国稀土管制对美国半导体产业的影响：「代理依赖」削弱晶片设备供应链稳定性
化学机械抛光（CMP）是集成电路制造中不可或缺的工序，用於实现多层布线的高平整度
。
高性能抛光液中的稀土氧化物（如氧化镧、氧化钕、氧化镨）是关键磨料，一旦供应中断
，将直接影响先进逻辑晶片的良率与可靠性。
高介电常数（High-k）闸极介电层：
在 FinFET 与 GAA 等先进制程中，为抑制漏电与提升电晶体效能，传统的二氧化矽闸极
材料已被稀土氧化物取代。
像是氧化镧、氧化铒、氧化镱等高 k 材料被用作掺杂剂，以精确控制电晶体的阈值电压
，进而决定晶片功耗与运算速度。
元素钪（Sc）：
此外，元素钪（Sc）也被证实在高效能逻辑晶片中扮演关键角色。若失去这些特定稀土材
料，先进晶片的低功耗与高效能设计几乎难以实现。
半导体制造设备则是美国半导体产业中一个隐蔽但极为关键的弱点。这些价值数十亿美元
的精密设备在制造晶片过程中大量依赖稀土材料。
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1F：→ lusifa2007 : 设备商冲击比较大 ASML和他的零件商都可能中箭 10/12 22:09
2F：推 ru04hj4 : CeO2用蛮多的 但应该没这麽缺吧 10/12 22:11
3F：推 lc85301 : 你知道人体内元素可能就那几种，晶片可不是… 10/12 22:16
4F：→ lc85301 : 整个晶片制程下来绝对有半张元素周期表 10/12 22:17
5F：推 housefinch : CeO2中国重点是便宜，而且用习惯了 10/12 22:21
6F：→ housefinch : 你改日本／越南的，制成参数要全部重来。研磨站大 10/12 22:22
7F：→ housefinch : 概会想杀人…磨一次都要超久。 10/12 22:22
8F：推 mikearice : Hk Hf 不算稀土吧 10/12 22:24
9F：推 ru04hj4 : 台湾半导体用的CeO2 应该是日厂 但原料的原料可能 10/12 22:25
10F：→ ru04hj4 : 是中国来的 10/12 22:25
11F：推 mikearice : Slurry 没有CeO2就不能CMP了吗？把台积看太浅了吧 10/12 22:27
12F：推 ru04hj4 : 就有几道特别好用 10/12 22:31
13F：推 FULLHD1080 : 制程的部分还好,用量不大,库存用完再去抢回收料一 10/12 22:49
14F：→ FULLHD1080 : 定够用的,等到连台积电用不去大概全世界的电器都没 10/12 22:49
15F：→ FULLHD1080 : 有流动了,你觉得这时候还要去烦恼台积电这件事吗 10/12 22:49
16F：→ NTU303150195: 中国通缩打关税战会更缩吧 10/12 23:03