最近在学关於椭圆仪的原理 不过有个地方实在搞不太懂 rp/rs= tanΨ*e^(iΔ) 椭圆仪是藉由所量到的测量值Ψ跟Δ 也就是振幅比与相位差 来计算其他资讯(例如膜厚or n值) 但一直想不太透的是Ψ跟Δ是怎麽"直接"测量出来的? 接收端是有什麽特殊的detector还是装置吗 到底是直接量到这两个值 还是先分别量rp及rs再计算Ψ跟Δ 有点搞不太懂 但感觉不应该是量到rp跟rs 这样好像就变反射仪(记得椭圆仪只能知道rp/rs的比例) 网路上在这部分也没有详细资讯 若有了解的前辈麻烦指点 谢谢 --

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