【微机械展】三菱开发出可用於气囊的新结构z轴加速度感测器 【微机械展】松下电工和台湾企业展出MEMS投影机 【微机械展】EVG开发出晶片与晶圆键合新方法，成本可降至5日元/晶片 【微机械展】面向TSV加工的新提案接连不断 【微机械展】各大MEMS设备厂商纷纷支援300mm，目标锁定TSV加工 【微机械展】松下电工通过晶圆级接合4层封装LED 【微机械展】利用金属原子扩散进行接合，电子和自旋均可通过接合部 【微机械展】大日本印刷将在MEMS代工服务中追加封装程序 【微机械展】滨松光电公开“接合後切割”LTCC的技术 【微机械展】苏斯和田中贵金属验证金微粒子的低温金属接合 　在“第20届微机器/MEMS展”上，使用MEMS扫描器的投影机展出。此次展出的产品是松 下电工的镭射扫描器和台湾厂商的超小型投影机。 　　松下电工在该公司的晶圆级封装（WLP）技术演示中，展出了2轴MEMS扫描器。用2块 玻璃底板真空封装了利用该公司的WLP在矽底板上形成的 MEMS镜子。通过将镜子封闭在真 空中，能够减小驱动时的空气阻力，增大振幅（镜子的偏角）。另外，用很小的驱动力便 可晃动镜子，促动器采用的是静电型。一般情况下，MEMS镜扫描时多采用驱动力大的电磁 型或压电型。此次演示中展出了“虚拟开关”。利用镭射在面板上显示表示风扇、照明及 扬声器的图标，用户触摸这些图标便可控制各种机器的电源。 　　台湾厂商中展出超小型投影机的是小型致动器厂商Technohands。此次展示了台湾 OPUS Microsystems的MEMS扫描器和使用该扫描器的超小型投影机。Technohands使用3原 色镭射光源显示了彩色视讯。其中红、蓝镭射器采用的是台湾厂商制造的直接振荡型产品 。至於绿色镭射光源，Technohands未公布相关资讯。光源亮度为10lm。（记者：三宅 常 之） --

※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc) ◆ From: 218.161.52.207