Mentor Graphics新一代OPC技术确保制程适用范围内的晶片良率 2006/01/09 明导国际 (Mentor Graphics) 日前宣布推出CalibreR OPCverify工具。Calibre OPCverify代表光学制程修正技术 (OPC) 的新时代已经来临，它的出现让Mentor可制造设 计 (DFM) 产品线更强大。半导体厂商可以利用Calibre OPCverify管理制程变异对晶片良 率的冲击。 制程变异可能对晶片良率产生极大影响，这种现象在微影制程中尤其明显，因为就算微影 设备的操作条件 (微影制程适用范围，lithographic process window) 在可接受范围， 影像传真度都可能因为制程变异而出现极大失真。为了减少晶片故障风险、避免昂贵的重 制过程和确保良率在可接受范围，Calibre OPCverify可以在设计进入光罩制作阶段或交 给晶圆厂商生产前先找出制程变异所导致的微影错误或误差。 65奈米的解析度强化技术 (Resolution Enhancement Rechnology，RET) 已变得更复杂， 这会对微影制程良率产生多方冲击。良率下降主因包括：微影制程适应范围更小、微影制 程更容易受到布局结构影响以及复杂而会影响RET应用的光罩规则约束条件。o些问题都要 透过快速、精确、易於使用又能侦测良率限制条件的RET验证解决方案加以克服。 Calibre OPCverify使用已通过晶片验证的Calibre OPCpro模拟模型，这种下一代RET验证 工具提供100%的晶片模拟涵盖范围以确保晶片图案转移成功。Calibre OPCverify像素式 模拟引擎所采用的专利演算法可定义不利於图案转移的各种条件 (掺杂浓度、焦距)，进 而克服制程变异所产生的负面影响。Calibre OPCverify的所有建模功能都已针对湿浸式 微影技术 (immersion lithography) 等最先进制程条件完成彻底的特性分析。Calibre OPCverify工具还采用最严谨的模型开发与验证方法，这使它能同时满足RET配方验证和光 罩检验的最严苛要求。 Calibre OPCverify可透过一套称为Calibre Verification Center的使用者界面完成安装 与设定工作。使用者只要利用Calibre OPCVerify和Calibre Verification Center，就能 在24小时内把完整精确的RET光罩验证流程完美整合至现有的後布局流程。 使用Calibre OPCverify和Calibre Verification Center的另一优点是这些工具都能以最 佳方式利用现有硬体，例如它们能结合今日工作站的高速运算效能和Calibre Mtflex的并 行处理能力来大幅缩短全晶片RET验证的TAT时间 (Turn Around Time)。由於这套工具与 所用的设计方法无关，使用者将会发现验证所需时间稳定而能预测，整套工具也具备良好 的扩充性。虽然实际验证时间与所用硬体有关，Calibre OPCverify兆像素模拟器可以扩 充使用数百颗处理器，同时支援展平式或阶层式设计。 「後OPC流程输出验证可将高成本的光罩重制过程和上市时间延误减至最少。」特许半导 体 (Chartered Semiconductor) 技术开发事业群的技术支援部门OPC经理Choi Byoung Il 表示，「我们可以利用微影制程适用范围的验证能力扩大目前所使用的图案转移精确度检 查方法，这能让我们更早发现易受制程影响的晶片结构，进而改善OPC的品质。」 「90奈米和更先进制程使得OPC更复杂和限制更多，因此需进行验证以避免晶片发生问题 。」Mentor Graphics设计与制造部门副总裁暨总经理Joe Sawicki表示，「有些客户宣称 只要验证制程变异对OPC的影响就能省下一半以上的光罩重制过程。Calibre OPCverify能 节省光罩成本和提供更稳定的良率，这能为客户带来最理想的投资报酬率。」 价格与供应时程： Calibre OPCverify与Calibre Verification Center都已开始供应，单价从80,000美元起 。详细资讯，请至以下网站查询：www.mentor.com。 关於 Mentor Graphics 明导国际为电子设计自动化领导厂商, 创立於1981年, 全球员工超过3850人, 致力於为电 子设计业者提供快捷高效的 PCB 与 lC 设计解?方案, 协助客?面对与日俱增的设计挑战 和市埸压力。明导国际深耕亚太市埸多年, 目前在台湾, 韩国, 中国大陆及新加坡均设有 分公司, 同时也於2000年将亚太区总部设立於台湾, 希望能藉助台湾经验协助中国市场的 开拓。公司总部位於美国奥勒冈州(Oregon)，地址为 8005 S.W. Boeckman Road,Wilsonville, Oregon 97070-7777. 矽谷总公司则位於1001 Ridder Park Drive, San Jose, California 95131-2314. 全球资讯网网址: http://www.mentor.com/．中文 网址：http://www.mentorg.com.tw http://www.mentorg.com.tw/news/view.php?id=248 --

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