作者blanki (悲命格)
看板NTUEE_Lab426
标题[闲聊] RIE（反应性离子蚀刻系统）操作步骤。
时间Wed Jul 26 00:32:02 2006
前几次跟延寰去做实验，顺便抄的。
仅予参考（过程可能有点错误，帮忙订正罗）
步骤：
1.启动冷却水 （从关->运转 约两分钟後，再转至压缩机）
2.开RIE後面下面的电源（开至ON）=> SYSTEM start up
3.开始运作（ACC TMP开始抽真空，约15～20分钟）
4.Auto Mode -> 至recipe （如果要用理面有人设过的参数）
或至set （自行更改recipe，改後面的recipe，Ex：recipe 10）
set->setp1 设定参数 输入 ok
回 previuos step
->选recipe10 （你设定的那个recipe）
->conf recipe （确认recipe设定的参数为自己所要的，是否正确）
5.Load Sample -->打开 ->放入 ->关 ->process -> start ->.....
6.最後，关机器 system shutdown ->......
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◆ From: 140.112.18.78
1F：推 yjchen:push 07/26 07:56
2F：推 JL9:孟儒记得很详细罗～ 不过感觉是要来骗P币的吧 哈哈～ 07/26 07:56
3F：推 runnie:阿弥陀佛....施主讲话别这麽很ㄇㄟ^^ 07/26 08:01