作者husan612 (基金让我50岁退休)
看板NTUCE
标题[问题] 铝薄膜的应力应变图vs不同温度下
时间Tue Jul 18 21:38:08 2006
※ [本文转录自 MSELAB 看板]
作者: husan612 (基金让我50岁退休) 看板: MSELAB
标题: [问题] 铝薄膜的应力应变图vs不同温度下
时间: Tue Jul 18 21:35:22 2006
主要是用在微机电感测器中的铝导线
是CVD沉积出来 所以纯度很高
且不会加铜的data值
(电子迁移效应太小)
有人看过或是手上有data吗?
或是在哪篇paper journal 中有看到过?
就是应力应变图vs不同温度(很纯的铝膜)
我找了好久
愈找愈灰心
觉得自己很没天份 唉
由於只是要找值跑模拟用
觉得直接问这领域的人比较准确
希望大家帮帮我
谢谢
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