你好 我是台湾大学机械工程所李老师的学生 想请教你们系上老师或实验室的研究是否曾经有使用过 12寸晶圆承载介面 (Load Port) 此设备大多用於晶圆厂无尘室内 如图 http://www.csun.com.tw/psti/b_fpd/fpd-02-11.html 若设备为合作的厂商提供、实验室财产或另有其管道 请多帮忙给与消息 目前研究急需此设备，麻烦大家的告知 谢谢你 --

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