作者chishen1214 (chisheng)
看板NEMS
标题[问题] MICROPOSIT REMOVER 1165 、丙酮去光阻
时间Thu Sep 19 18:03:28 2019
曝光用的光阻是AZ5214E 负型光阻，要做lift off用的
有人有使用过MICROPOSIT REMOVER 1165 来去光阻吗？
这个在哪边可以买到呢？有实验室是用这个吗？跟一般用丙酮去光阻有何差异呢？
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1F：推 jerrychu1211: AZ5214E我用过, 可以做正光阻也可以做附光阻用 05/25 02:18
2F：→ jerrychu1211: 不管是曝成正光阻或负光阻,都可拿来蚀刻跟lift-off 05/25 02:19
3F：→ jerrychu1211: 但一般是只用ACE去PR,请教您用别的溶液目的为何? 05/25 02:21