作者s1236325 (逛逛逛逛就好)
看板NEMS
标题[问题] 曝光光源疑问
时间Tue Jun 25 09:27:35 2019
请问各位黄光微影制程的先进，G-PR为什麽能用i-line进行曝光，小妹以前都是直接买i-
line光阻进行i-line曝光，不知道这样会有什麽风险？
业务只告知可共用，详细情形我也不太清楚，想请问各位大大有碰过类似情形？
目前倾向购买AZP4620/P4400/P3300，再跟台厂拿样品试做，请各位不吝赐教，感恩
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1F：推 sunchloveann: iline hline 都吃 只是解析度有差 看你的线宽需求 06/26 12:53