大家好~ 目前的实验会使用两片PDMS进行微流道的制程(一般普遍都是使用PDMS搭配PMMA或玻璃)， 在制程中会分别从透过蚀刻制程的方式Si晶圆和Si晶圆上有SU8结构的晶圆翻模，但纯Si 晶圆的模具会经过两次PDMS翻模，为了得到与原本晶圆一模一样的结构 这两片PDMS制作出来後，会接在一起，并注入亲水性的高分子，再用UV光使其固化，然而 在这过程中有几个问题，原先打算在注入前会先在PDMS上打施打氧电浆，并透过毛细现象 使液体自动沿着流道填满，图中有提到几个在这步骤遇到的问题 https://i.imgur.com/tLjSq8u.jpg 想请问大家以下问题 1.目的希望PDMS两片不要黏在一起，所以想法是将一片改成比较亲水，则一片为亲水一片 为疏水较原本不易黏在一起，目前看到常见使PDMS变为亲水的方法都是对其施打氧电浆， 但目前小弟想要在不想施打氧电浆的情况下(因为施打後可能会产生SiOx进而有裂痕)使PD MS亲水，不晓得版上的大大有没有建议的方法?(自己曾经有尝试在PDMS上喷洒IPA，想透 过物理吸附的方式让使PDMS表面上露出IPA的OH基，但让他自然乾掉後又变回疏水QQ) 2.因为两片PDMS要黏合且作为模具，因此表面清洁度很重要，目前网路上看到的清洁作法 是用IPA搭配超音波，但实际试过效果似乎没有很好，後来用Scotch胶带黏的方式可以把 表面很多脏污去除，但不晓得会不会有残胶的问题，而且因我的PDMS结构上有凹陷地方因 此在那些地方胶带无法清洁到，想询问版上的大神还有没有其他建议的方法? 另外，如果版上有玩过PDMS或微流道以及对如何进行表面处理有专精的人，愿意让我请益 的话，小弟愿意请一杯星巴克作为酬谢。 谢谢大家～ --

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