作者style000 (Eric)
看板NEMS
标题[问题] MOCVD加热型mfc故障
时间Fri Dec 14 10:36:25 2018
请问各位大大
有哪间学校或业界先进是使用mks的加热型mfc控制mo材料进去腔体的
想请问维修及处理厂商是哪间
目前我们实验室跟购买的厂商笙瑞是都只能联络美国原厂,维修一次很贵。
已知问题
加热至90度mfc会有高频声
流量回传讯号有问题 by pass测试 前级5850与後级mfc流量不一致
有没有哪位大大可以提供解决方案
或是在台湾可以维修的厂商
附上mfc图片
http://i.imgur.com/blo48U6.jpg
http://i.imgur.com/qvCmWZK.jpg
http://i.imgur.com/doXWDAw.jpg
麻烦了 谢谢!!
手机排版伤眼抱歉
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