作者skro1234 (呵呵笑)
看板NEMS
标题[问题] 铜lift 不掉
时间Thu May 18 19:10:11 2017
最近使用sputter镀Cu都lift不乾净（wafer上有像雀斑一样的铜）
光阻是使用FH-6400 前转15s 1500转 後转35s 3500转
每次sputter完 会泡丙酮2-6小时
就算泡在久还是lift不掉
想请问板上先进 给如何改善制程
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1F：推 sunchloveann: 棉花棒慢慢刷 05/19 11:47
2F：推 nhsh: 改用垂直蒸镀铜 或用震荡lift off 、再不行改用光阻去除剂去 05/20 22:12
3F：→ nhsh: 光阻 你的状况应该是铜部分连在一起了 05/20 22:13
4F：→ skro1234: 我有震荡但怕太久 其他地方的铜会一起掀起来 05/21 00:42
5F：推 nhsh: 如果没有要小尺寸的话 建议光阻厚一点 05/21 19:27
6F：推 a12121415: 可以震久点，通常蒸镀好是不容易被震掉 05/29 06:49