作者yys83422 (DukeFish)
看板NEMS
标题[问题] oxygen RIE 蚀刻
时间Fri Mar 17 17:21:16 2017
大家好，最近想做Teflon的蚀刻
因为RIE机器目前有些问题，想请问我可以使用氧电浆处理机（其他人都拿来做pdms表面
改质）代替吗？
看起来原理相同，不过还是想确认一下
我使用的参数为100W 15sccm 20~30min
不过参数还要做测试，也想另外请问有人有蚀刻teflon的经验吗？
谢谢！
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1F：→ jam46: 没做过，但觉得原理相同+1 03/21 03:20
2F：→ jam46: 感觉RIE跟氧电浆是不是只差在气体不同而已啊？ 03/21 03:21
3F：→ ewings: RIE第一段不是就是用氧电浆清腔体吗？ 03/21 12:44