作者keroro1130 (小高)
看板NEMS
标题[问题] 将PDMS去除
时间Fri Mar 3 17:16:56 2017
是这样的
小弟最近在以Si mold翻模PDMS，我有在Si上coating一层silane然後才上PDMS，但是在烤
乾後无法将PDMS去除，连用指甲抠几乎都不为所动，请问有什麽办法吗？
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1F：推 Thejust: 有用一些solvent试试看吗？例如toluene 03/04 17:02
2F：推 jam46: PDMS wet etching? 虽然我觉得重做一片mold可能更安全 XD 03/05 00:39
3F：→ jam46: 另外，重点应放在为什麽会沾黏？理论上有上silane应该都很 03/05 00:40
4F：→ jam46: 好脱模，是否制程上出了什麽问题？ 03/05 00:41
5F：推 GE1000: PDMS上厚一点试试看? 03/05 18:23
6F：推 Lanpe: 找关东鑫林 有一支型号ksr的可以洗...但你加silane做什麽 03/05 19:01
7F：→ Lanpe: 用呢？ 03/05 19:01
8F：→ CharlieToT: 已寄站内信 03/07 09:26