作者jeremy1028 (jer)
看板NEMS
标题[问题] 请问该如何改善侧壁垂直度
时间Sat Sep 19 01:48:50 2015
可以请教负光阻在显影後 线路会行成正梯型 请问有什麽方式可改善? 无特定型号光阻
因为有找多款来测试 都有这情况 ，主要希望侧面可尽量垂直, 膜厚10-30um ，有那些参
数可改善 谢谢
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1F：推 s75287: 检查你的光罩有没有放反... 09/19 07:51
2F：→ jeremy1028: 没有放反 线路显影正常 湿蚀刻也正常 只是显影後侧壁 09/19 12:01
3F：→ jeremy1028: 不美观 09/19 12:01
4F：→ denniswave: 显影後profile就是梯形?没有经过Hard-Bake就这样了? 09/19 17:46
5F：→ sean25059199: 我有用JSR做过,减少曝光参数後就会变比较直 11/03 20:46