作者fswin321 (fswin321)
看板NEMS
标题[问题] BCB负光阻显不乾净
时间Sat Aug 8 00:04:44 2015
我在测试显影一支BCB-4024的负光阻,
希望能做出20um厚度,并显出洞,
未来当作passivation用,
先用Si基板上第一层BCB并显影出洞,
第1层recipe为:
1.coating 1500rpm, 60 sec
2.软烤 80度, 6 min
3.曝光 22 sec (220 mJ)
4.曝後烤 75度, 6 min
5.DS3000中浸泡并用震荡器震显(显影液温度35度)
6.放入氮气箱中无氧烘烤210度,40分
然後再上第2层BCB并显影出较第一层大点的洞
第2层recipe为
1.coating 1500rpm, 60 sec
2.软烤 85度, 4 min
3.曝光 26 sec (260 mJ)
4.曝後烤 70度, 6 min
5.DS3000浸泡手摇显影(显影液温度35度)
现在还再调整第2层的recipe,
第2层不管怎麽调都很容易裂开,
所以不能用震荡器去显影,
不然很容易洞周围掀起来,
但是用手摇显影容易显不乾净有残渣,
如图所示：
http://imgur.com/tN1GvGT
左一洞为显乾净， 其余皆有些微残渣,
有时候不乾净再加显,
反而会更多残渣,
这支显影液有点黏性,
常要氮气枪吹很久才会看到底部,
Q1:
不知道什麽有效方法能显乾净,
还是说recipe需要调整?
Q2:
看板上其他负光阻(EX: SU8)都不会过显,
但我发现我这支BCB会过显并在洞周围塌陷,
BCB调整好是否也不会有过显问题?
我是第一次用BCB这支光阻,
显影难度蛮高且没听过有人用过,
希望有使用过这光阻的板友能分享经验,谢谢!
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※ 编辑: fswin321 (223.142.144.162), 08/08/2015 00:47:48
※ 编辑: fswin321 (223.142.144.162), 08/08/2015 02:10:07
1F：推 sean25059199: 有残渣的是显影时间不够还是过显造成有残留渣渣？ 08/14 21:25
2F：→ fswin321: 过显造成残渣 08/15 19:23
3F：→ fswin321: 或者是光阻显影完的反应物，刚好去不掉，无关过显也有可 08/15 19:58
4F：→ fswin321: 能 08/15 19:58
5F：→ sean25059199: 你的feature多大, 如是小的话可以用超音波震荡帮忙 08/20 08:05
6F：→ sean25059199: 看到你第一层有用振荡器显影, 所以第一层的洞比较小 08/20 08:08
7F：→ sean25059199: 不会有残留光阻的问题是吗？ 08/20 08:09
8F：→ sean25059199: 只有第二层有问题吗？ 08/20 08:10
9F：→ fswin321: 第一层洞为30um, 第二层洞为45um 08/23 23:45
10F：→ fswin321: 第一层算是没问题， 震显不会有残渣 08/23 23:47
11F：→ fswin321: 对， 只有第二层有问题， 第二层震显图案会破掉掀起来， 08/23 23:49
12F：→ fswin321: 所以手摇取代 08/23 23:49