作者randy51300 (Randy)
看板NEMS
标题[问题] 光二极体 掺杂
时间Mon Mar 30 18:25:17 2015
板上各位贤拜大家好
小弟最近在photo diode的制程上有疑问
所以上此板跟大家请益
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内容:
小弟要制做一个PN junction
采用的方法为传统扩散法
对於P junction 的形成是想要先上一层BSG(borosilicate glass)之後再进行退火扩散
做掺杂的动作
但问题就在
BSG是要以涂布的方式还是要以沉积的方式进行
还请有经验的贤拜不吝指教
谢谢
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